特許
J-GLOBAL ID：202303005437989319
オペランド計測を可能とした走査型イオンコンダクタンス顕微鏡
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
大谷 嘉一
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2019-134048
公開番号（公開出願番号）：特開2021-018147
特許番号：特許第7304623号
出願日： 2019年07月19日
公開日（公表日）： 2021年02月15日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 試料の電気化学的な動作条件を制御及び計測するためのポテンシオスタットと、試料表面の形状又は/及びイオン濃度プロファイルを計測するための走査型イオンコンダクタンス顕微鏡とを備え、前記走査型イオンコンダクタンス顕微鏡に有するプローブを試料表面に対して相対的に水平方向の走査を行うためのXY方向走査手段と、前記プローブと試料表面の距離である垂直方向を走査するためのZ方向走査手段を有し、前記XY方向及びZ方向の走査手段のうち、いずれか1つ以上は粗動制御のための第1制御ステージと、精密制御のための第2制御ステージの2種以上の複数の制御ステージを有し、前記第1制御ステージと第2制御ステージとを連動して駆動させることで、精密駆動では達成できないような起伏を有する試料や、広範囲を高い精度で計測することを可能とし、前記試料の計測に用いる電気化学セルは対極(CE)及び参照極(RE)と、少なくとも試料の実動作を計測する第1作用極(WE1)とプローブ側を計測する第2作用極(WE2)とを有し、前記WE1の電位とWE2の電位は相互に独立制御され、電位を制御するプログラムはWE1の制御手段とWE1の変化量を差分として補完する演算手段と、これに基づいてWE2を独立制御する制御手段を有することを特徴とするオペランド計測を可能とした走査型コンダクタンス顕微鏡。
IPC (1件)：
FI (1件)：
引用特許：
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