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J-GLOBAL ID：202402283483995670   整理番号：24A0611221

種々の組成の(Al,Sc)N多層膜のスイッチング特性評価

Characterization of ferroelectric switching properties for multilayer (Al,Sc)N films with various composition ratio

著者 (8件)： 安岡慎之介 (東京工大) ,  岡本一輝 (東京工大) ,  清水荘雄 (物材研) ,  清水荘雄 (JST-さきがけ) ,  松井尚子 (キヤノンアネルバ) ,  入澤寿和 (キヤノンアネルバ) ,  恒川孝二 (キヤノンアネルバ) ,  舟窪浩 (東京工大)
資料名： 応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)  (Extended Abstracts. JSAP Autumn Meeting (CD-ROM))
巻： 84th  ページ： ROMBUNNO.20a-A309-1  発行年： 2023年09月05日 
JST資料番号： Y0055B  ISSN： 2758-4704  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

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シソーラス用語： 強誘電体 ,...
準シソーラス用語： 同時スパッタリング

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分類 (1件)： 生物物理的研究法  (EA03020V)

タイトルに関連する用語 (6件)： 組成 ,  Al ,  Sc ,  多層膜 ,  スイッチング特性 ,  評価