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J-GLOBAL ID：201702243059855046   整理番号：17A0148713

強固なMEMSデバイスのためのチタン基板上のAl₂O₃薄膜およびBiFeO₃薄膜の堆積と特性評価

Deposition and Characterization of Al₂O₃ and BiFeO₃ Thin Films on Titanium Substrates for Tough MEMS Devices

著者 (6件)： Kohno Takeshi (Graduate School of Science and Technology Niigata University) ,  Mihara Masato (Graduate School of Science and Technology Niigata University) ,  Tanabe Ataru (Graduate School of Science and Technology Niigata University) ,  Abe Takashi (Graduate School of Science and Technology Niigata University) ,  Okuyama Masanori (Institute for NanoScience Design, Osaka University) ,  Sohgawa Masayuki (Graduate School of Science and Technology Niigata University)
資料名： 電気学会論文誌 E  (IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines)
巻： 137  号： 1  ページ： 46-47(J-STAGE)  発行年： 2017年 
JST資料番号： L3098A  ISSN： 1341-8939  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 絶縁体および圧電薄膜は,チタン基板上に堆積され,タフなMEMS触覚センサに適用されることを特徴とする。チタン基板は,薄膜の堆積の前にバフ研磨によって研磨された。Al₂O₃薄膜を絶縁体として堆積し,研磨されたチタン基板上に良好な絶縁特性を示した。RFスパッタリングにより圧電BiFeO₃薄膜を作製した。チタン基板上のBiFeO₃薄膜のXRDパターンは,強誘電相の存在を示している。分極電界曲線はまた,強誘電性ヒステリシスループを示す。結果は,チタン基板上に絶縁体と圧電薄膜を形成できることを示している。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： *チタン ,  *基板 ,  *MEMS ,  *触覚センサ ,  酸化アルミニウム ,  *誘電体薄膜 ,  ビスマス化合物 ,  鉄酸塩 ,  バフ研磨 ,  *薄膜成長 ,  *RFスパッタリング ,  X線回折 ,  強誘電性 ,  曲線 ,  キャラクタリゼーション ,  表面粗さ ,  漏れ電流
準シソーラス用語： 圧電薄膜 ,  ヒステリシスループ

著者キーワード (4件)： Ti-MEMS ,  tactile sensor ,  Al₂O₃ thin film ,  BiFeO₃ piezoelectric thin film

分類 (2件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  酸化物薄膜  (BK14050P)

引用文献 (7件)：

• (1) M. Sohgawa, K. Watanabe, T. Kanashima, M. Okuyama, H. Noma, and T. Azuma : “Review of Texture Measurement of Object Surface by Tactile Sensor with Inclined Micro-cantilevers”, IEEJ Trans. SM, Vol. 133, pp. 147-154 (2013)
• (2) H. Yokoyama, T. Kanashima, M. Okuyama, T. Abe, H. Noma, T. Azuma, and M. Sohgawa : “Active Touch Sensing by Multi-axial Force Measurement Using High-Resolution Tactile Sensor with Microcantilevers”, IEEJ Trans. SM, Vol. 134, pp. 58-63 (2014)
• (3) M. Mihara, A. Nozawa, T. Abe, M. Okuyama, H. Noma, T. Azuma, and M. Sohgawa : “Tactile Sensor Using Micro-cantilever with BiFeO₃ Piezoelectric Film”, IEEJ Trans. SM, Vol. 135, pp. 158-164 (2015)
• (4) T. Kohno, T. Abe, M. Okuyama, H. Noma, and M. Sohgawa : “Characterization of BiFeO₃ Thin Film for Tactile Sensor Using Microcantilevers with Piezoelectric Capacitor and Strain-Gauge”, IEEE Sensors 2015, Busan, Korea (2015)
• (5) M. P. Rao, M. F. Aimi, and N. C. MacDonald : “Bulk micromachined titanium micro mirror device with sloping electrode geometry”, 2004 Solid-State Sensor, Actuator, and Microsystems Workshop, SC USA (2004)

タイトルに関連する用語 (7件)： MEMSデバイス ,  チタン ,  Al2O3 ,  薄膜 ,  BiFeO3 ,  堆積 ,  特性評価