- 2022 - 2025 次世代集積回路配線と液体/金属接面in-situ計測:どこまでわかりどう使うか?
- 2020 - 2023 ミューラー行列顕微鏡の創製
- 2015 - 2018 偏光指紋による物体同定のための光学モデル化およびその応用
- 2012 - 2015 物体の偏光指紋の構築及びその応用
- 2011 - 2012 生物の最適ネットワーク構造探索機能を利用した超高バンド幅集積回路配線形成の試み
- 2009 - 2011 ゆらぎ撮像エリプソメトリによる超臨界流体薄膜プロセスのマルチスケール制御
- 2008 - 2009 触媒作用を利用したシリコンへの微細配線形成技術の開発
- 2006 - 2008 超臨界エリプソメトリーで切り開く形状敏感ナノデバイスプロセス創製
- 2007 - 2007 超高密度流体中での動的溶解度制御を利用した形状敏感型自己整合ナノプロセス
- 2003 - 2005 超臨界流体を利用した超高速・低環境負荷型新規薄膜形成技術の開発
- 2002 - 2002 超臨界流体を利用した配線形成技術の研究
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