研究者

J-GLOBAL ID：200901050264741942 更新日: 2022年09月11日

柴原正文

シバハラマサフミ | Masafumi Shibahara

所属機関・部署：
職名：主任研究員,主任研究員

研究分野 (1件)：材料加工、組織制御

研究キーワード (1件)：材料加工・処理

競争的資金等の研究課題 (1件)：

2008 - 2010 紫外レーザー照射と大気圧プラズマ処理を併用したギガヘルツ帯プリント回路基板の開発

MISC (6件)：

柴原正文, 赤松正守, 神崎仁, 山村和也. 大気圧プラズマ処理によるポリテトラフルオロエチレンの表面改質. 表面技術協会誌、Vol. 58、 No.7. 2007. 58. 7. 420-424
柴原正文, 稲垣官司, 山村和也. 大気圧プラズマ処理によるポリエチレンテレフタレートの表面改質. 表面技術協会誌. 2007. 58. 2. 124-129
柴原正文, 山村和也, 佐野泰久, 杉山剛, 山本雄介, 遠藤勝義, 森勇藏. 数値制御プラズマCVMによる水晶ウエハの高精度加工に関する研究 -回転電極とパイプ電極を併用した数値制御加工による水晶ウエハ厚さの均一化-. 精密工学会誌. 2006. 72. 7. 934-938
Masafumi Shibahara, Kazuya Yamamura, Yasuhisa Sano, Tsuyoshi Sugiyama, Katsuyoshi Endo, Yuzo Mori. Improvement of the thickness distribution of a quartz crystal wafer by numerically controlled plasma chemical vaporization machining. Review of Scientific Instruments. 2005. 76. 9. 096103
山村和也, 柴原正文, 佐野泰久, 杉山剛, 遠藤勝義, 森勇藏. 数値制御プラズマCVMによる水晶ウエハの高精度加工に関する研究-加工装置の開発と基本的加工特性の取得-. 精密工学会誌. 2005. 71. 4. 455-459

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学位 (1件)：

博士(工学) (大阪大学)

所属学会 (2件)：

表面技術協会 , 精密工学会

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