文献

J-GLOBAL ID：200902256758618966   整理番号：07A0671995

大気圧プラズマ処理によるポリテトラフルオロエチレンの表面改質

Surface Modification of Polytetrafluoroethylene Sheet by Atmospheric Pressure Plasma Treatment

著者 (4件)： 柴原正文 (兵庫県工技セ) ,  赤松正守 (日本ピラー工業) ,  神崎仁 (日本ピラー工業) ,  山村和也 (大阪大 大学院工学研究科 超精密科学研究セ)
資料名： 表面技術  (Journal of the Surface Finishing Society of Japan)
巻： 58  号： 7  ページ： 420-424  発行年： 2007年07月01日 
JST資料番号： G0441B  ISSN： 0915-1869  CODEN： HYGIEX  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： ギガヘルツ帯のプリント回路基板材料に適するポリテトラフルオロ...

シソーラス用語： 気圧 ,...
準シソーラス用語： *プラズマプロセシング ,...

   続きはJDreamIII（有料）にて  {{ this.onShowAbsJLink("http://jdream3.com/lp/jglobal/index.html?docNo=07A0671995&from=J-GLOBAL&jstjournalNo=G0441B") }}

分類 (1件)： 表面処理  (YH04112X)

引用文献 (10件)：

• 1) たとえば, アクトンテクノロジー社, FluoroEtch Webカタログ.
• 2) 孝谷卓哉, 星野浩一;特開2003-201571 (2003).
• 3) M. Okoshi and M. Murahara ; Appl. Phys. Lett., 72, 2616 (1998).
• 4) 鈴木孝典, 稲垣訓宏;特開平11-314310 (1999).
• 5) M. Shibahara, K. Inagaki and K. Yamamura ; J. Surface Finish. Soc. Jpn., 2, 124 (2007)(in Japanese).

タイトルに関連する用語 (3件)： 大気圧プラズマ ,  ポリテトラフルオロエチレン ,  表面改質