文献

J-GLOBAL ID：200902225683257072   整理番号：05A1021563

数値制御プラズマCVMによる水晶ウエハの高精度加工に関する研究-加工装置の開発と基本的加工特性の取得-

Improvement of Thickness Uniformity of Quartz Wafer by Numerically Controlled Plasma CVM-Development of the NC-PCVM Machine and Acquisition of Machining Properties-

著者 (6件)： 山村和也 (大阪大 大学院工学研究科 超精密科学研究セ) ,  柴原正文 (兵庫県工技セ) ,  佐野泰久 (大阪大 大学院工学研究科) ,  杉山剛 (大阪大 大学院工学研究科) ,  遠藤勝義 (大阪大 大学院工学研究科 超精密科学研究セ) ,  森勇蔵 (大阪大 大学院工学研究科 超精密科学研究セ)
資料名： 精密工学会誌  (Journal of the Japan Society for Precision Engineering)
巻： 71  号： 4  ページ： 455-459  発行年： 2005年04月05日 
JST資料番号： F0268A  ISSN： 0912-0289  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 今日のブロードバンド化による急激な情報通信システムの発展に伴...

シソーラス用語： *プラズマCVD ,...

   続きはJDreamIII（有料）にて  {{ this.onShowAbsJLink("http://jdream3.com/lp/jglobal/index.html?docNo=05A1021563&from=J-GLOBAL&jstjournalNo=F0268A") }}

分類 (2件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  光通信方式・機器  (ND10000B)

引用文献 (14件)：

• 日本水晶デバイス工業会編. 水晶デバイスの解説と応用. 2002, 50
• 佐藤雄一. 光伝送用電圧制御水晶発振器の提案. 電気学会電子・情報システム部門大会講演論文集, 2001. 2001, 2, 215
• 佐藤佐千雄. 通信用水晶加工技術. 精密工学会誌. 1998, 64, 1, 71
• 荻野隆. 砥粒加工による超薄型水晶の加工技術. 精密工学会誌. 2000, 66, 1, 69
• KOYAMA, Mitsuaki. Fundamental mode 155MHz with flat blank in the crystal unit using VCXO. Proc. IEEE Int. Freq. Control Symp., 1999. 1999, 53, 1, 338

タイトルに関連する用語 (9件)： 数値制御 ,  プラズマCVM ,  水晶 ,  ウエハ ,  高精度加工 ,  研究 ,  加工装置 ,  開発 ,  加工特性