数値制御したプラズマ化学蒸発マシニングよる水晶結晶ウエハの厚み分布の向上

SHIBAHARA Masafumi; YAMAMURA Kazuya; SANO Yasuhisa; SUGIYAMA Tsuyoshi; ENDO Katsuyoshi; MORI Yuzo

文献

J-GLOBAL ID：200902274946698770 整理番号：05A0990843

数値制御したプラズマ化学蒸発マシニングよる水晶結晶ウエハの厚み分布の向上

Improvement of the thickness distribution of a quartz crystal wafer by numerically controlled plasma chemical vaporization machining

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Review of Scientific Instruments (Review of Scientific Instruments)

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巻： 76 号： 9 ページ： 096103-096103-4 発行年： 2005年09月
JST資料番号： D0517A ISSN： 0034-6748 CODEN： RSINAK 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

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