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J-GLOBAL ID：200902254348264358   整理番号：06A0540528

数値制御プラズマCVMによる水晶ウエハの高精度加工に関する研究-回転電極とパイプ電極を併用した数値制御加工による水晶ウエハ厚さの均一化-

Improvement of Thickness Uniformity of Quartz Crystal Wafer by Numerically Controlled Plasma CVM-Correction of Thickness Distribution of Quartz Crystal Wafer by Numerically Controlled Machining Utilizing Pipe Electrode-

著者 (7件)： 柴原正文 (兵庫県工技セ) ,  山村和也 (大阪大 大学院工学研究科 超精密科学研究セ) ,  佐野泰久 (大阪大 大学院工学研究科) ,  杉山剛 (大阪大 大学院工学研究科) ,  山本雄介 (大阪大 大学院工学研究科) ,  遠藤勝義 (大阪大 大学院工学研究科 超精密科学研究セ) ,  森勇蔵 (大阪大 大学院工学研究科 超精密科学研究セ)
資料名： 精密工学会誌(CD-ROM)  (精密工学会誌論文集)
巻： 72  号： 7  ページ： 934-938  発行年： 2006年07月05日 
JST資料番号： F0268B  ISSN： 1348-8716  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 光通信技術の進歩で基準周波数を生成する水晶振動子の果たす役割...

シソーラス用語： *ウエハ【IC】 ,...
準シソーラス用語： 工作精度 ,...

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分類 (2件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  特殊加工  (QC04000Y)

引用文献 (7件)：

• 日本水晶デバイス工業会編. 水晶デバイスの解説と応用. 2002, 50
• 佐藤雄一. 光伝送用電圧制御水晶発振器の提案. 電気学会電子・情報システム部門大会講演論文集, 2001. 2001, 2, 215
• 山村和也. 数値制御プラズマCVMによる水晶ウエハの高精度加工に関する研究 -加工装置の開発と基本的加工特性の取得-. 精密工学会誌. 2005, 71, 455
• 柴原正文. 数値制御プラズマCVMによる水晶ウエハの高精度加工に関する研究 -円筒型回転電極を用いた数値制御加工による水晶ウエハ厚さの均一化-. 精密工学会誌. 2005, 71, 655
• TAKINO, H. Computer numerically controlled plasma chemical vaporization machining using a pipe electrode for optical fabrication. Appl. Opt. 1998, 37, 5198

タイトルに関連する用語 (12件)： 数値制御 ,  プラズマCVM ,  水晶 ,  ウエハ ,  高精度加工 ,  研究 ,  回転電極 ,  パイプ ,  併用 ,  数値制御加工 ,  厚さ ,  均一化