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研究者
J-GLOBAL ID:200901055043787745   更新日: 2025年01月12日

石川 健治

イシカワ ケンジ | Ishikawa Kenji
クリップ
所属機関・部署:
職名: 教授
その他の所属(所属・部署名・職名) (1件):
研究分野 (1件): 応用物理一般
研究キーワード (12件): プラズマ診断 ,  その場実時間計測 ,  和周波振動分光 ,  赤外分光 ,  電子常磁性共鳴 ,  電子スピン共鳴 ,  プラズマ農業 ,  プラズマ医療 ,  プラズマエッチング ,  プラズマ生化学 ,  低温プラズマ生物学 ,  ドライプロセス
競争的資金等の研究課題 (17件):
  • 2024 - 2029 プラズマ駆動生化学反応の学理構築:活性種の動態解析
  • 2024 - 2029 プラズマが駆動する種子内分子動態の総括研究
  • 2021 - 2024 プラズマ生成フリーラジカル非平衡反応場の液相時空間解析
  • 2021 - 2024 低温プラズマ加工の理論-計算-計測の連携環境構築による一原子一分子制御工学の創成
  • 2020 - 2024 プラズマ中光捕捉微粒子を用いたシース電場の時空間構造揺らぎ形成機構の解明
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論文 (214件):
  • Tran T.N., Hayashi T., Iwayama H., Sekine M., Hori M., Ishikawa K. Hydrofluoroethane plasma etching of SiN, SiO2, and poly-Si films with CHF2CF3, CF3CH3, and CHF2CH3. Applied Surface Science. 2025. 684
  • Hu L., Tsutsumi T., Kobayashi N., Ishikawa K., Hori M. Plasma-enhanced atomic layer deposition of carbon films employing a cyclic process of N2/H2 plasma and α, α’-dichloro-p-xylene as a precursor. Applied Surface Science. 2025. 681
  • Ando Y., Kondo H., Tsutsumi T., Ishikawa K., Sekine M., Hori M. Analysis of the synergetic effect of process parameters of hydrogenated amorphous carbon deposition in plasma-enhanced chemical vapor deposition using machine learning. Diamond and Related Materials. 2025. 151
  • Hsiao S.N., Sekine M., Britun N., Mo M.K.T., Imai Y., Tsutsumi T., Ishikawa K., Iijima Y., Suda R., Yokoi M., et al. Pseudo-Wet Plasma Mechanism Enabling High-Throughput Dry Etching of SiO2 by Cryogenic-Assisted Surface Reactions. Small Methods. 2024. 8. 12. e2400090
  • Dhasiyan A.K., Amalraj F.W., Jayaprasad S., Shimizu N., Oda O., Ishikawa K., Hori M. Correction to: Epitaxial growth of high-quality GaN with a high growth rate at low temperatures by radical-enhanced metalorganic chemical vapor deposition (Scientific Reports, (2024), 14, 1, (10861), 10.1038/s41598-024-61501-9). Scientific Reports. 2024. 14. 1. 30575
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書籍 (12件):
  • シリコンと化合物半導体の超精密・微細加工プロセス技術 -工程別加工技術の基礎と最新動向-
    シーエムシー出版 2024 ISBN:9784781317571
  • 高アスペクト比エッチングにおけるプラズマの挙動と表面反応の制御
    技術情報協会 2023 ISBN:9784861049828
  • Chapter 2. Physical and chemical basis of non-thermal plasma. In: "Plasma Medical Science"
    Academic Press 2018 ISBN:9780128150054
  • Chapter 5. "Plasma Diagnostics" In: "Cold Plasma in Food and Agriculture, Fundamentals and Applications"
    Academic Press 2016 ISBN:9780128013656
  • 7.2節 表面計測法 In: プラズマプロセス技術
    森北出版 2016 ISBN:9784627775619
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講演・口頭発表等 (181件):
  • 非平衡大気圧プラズマがゼブラフィッシュに及ぼす影響とその機構解明
    (第70回応用物理学会春季学術講演会 17p-A409-9 2023)
  • プラズマ活性乳酸リンゲル液によるがん細胞死経路上のオートファジー観察
    (第70回応用物理学会春季学術講演会 17a-A409-6 2023)
  • カーボンナノウォール足場上での電気刺激重畳培養におけるヒト間葉系幹細胞の形態変化
    (第70回応用物理学会春季学術講演会 17a-A409-2 2023)
  • C2F4の電子物性とPTFEの生成機構
    (第70回応用物理学会春季学術講演会 17p-A205-18 2023)
  • F2添加 Ar プラズマを用いた基板昇温下での AlGaN の原子層エッチング
    (第70回応用物理学会春季学術講演会 17p-A205-11 2023)
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経歴 (2件):
  • 名古屋大学 低温プラズマ科学研究センター
  • 名古屋大学 大学院工学研究科 附属プラズマナノ工学研究センター 特任教授
所属学会 (4件):
日本酸化ストレス学会 ,  プラズマ核融合学会 ,  応用物理学会 ,  米国真空学会
※ J-GLOBALの研究者情報は、researchmapの登録情報に基づき表示しています。 登録・更新については、こちらをご覧ください。

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