研究者

J-GLOBAL ID：200901064052501500 更新日: 2022年09月13日

小寺正敏

コテラマサトシ | Kotera Masatoshi

所属機関・部署：
職名：教授
ホームページURL (1件)： http://www.oit.ac.jp/elc/~kotera/index.html

研究分野 (3件)：電子デバイス、電子機器 , 電気電子材料工学 , 薄膜、表面界面物性

研究キーワード (12件)：磁界中の電子軌道シミュレーション , 電界中の電子軌道シミュレーション , 物質中の電子散乱シミュレーション , 帯電分布計測 , 二次電子放出 , エネルギー蓄積分布 , 空間分解能 , 電子ビーム応用技術 , 表面界面物性 , 電子デバイス・機器工学 , Surface Physics , Electronic Devives and Apparatias Engineering

競争的資金等の研究課題 (10件)：

2016 - 2019 電子ビームリソグラフィにおける帯電の影響低減のための帯電現象のマルチスケール解析
2010 - 2013 電子ビーム照射による試料帯電の広範囲ナノメートル分解能・リアルタイム計測技術開発
2000 - Electrical charging of materials during electron beam irradiation
1998 - 電子ビームリソグラフィシステムの解析
1991 - 1994 静電型走査電子顕微鏡の製作

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MISC (76件)：

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書籍 (1件)：

各種分析法におけるサンプリング・試料調製法と前処理技術
技術情報協会 1993

Works (8件)：

低加速電子ビーム露光の大電流化技術
2003 - 2004
電子ビームリソグラフィシミュレーションの開発
2003 - 2004
EB投影露光シミュレーション技術
2000 - 2003
電子ビーム照射による帯電現象のシミュレーション
2002 -
等倍EB近接露光シミュレーション技術
2002 -

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学歴 (4件)：

- 1982 大阪府立大学工学研究科電子工学
- 1982 大阪府立大学
- 1977 大阪府立大学工学部電子工学
- 1977 大阪府立大学

学位 (2件)：

工学博士 (大阪府立大学)
工学修士

委員歴 (4件)：

2011/09 - 現在荷電粒子ビームの工業への応用第132委員会幹事
2008/02 - 現在荷電粒子ビームの工業への応用第132委員会学界委員
1998 - 2002 応用物理学会関西支部評議員
International Microprocesses and Nanotechnology Conference 論文委員

所属学会 (3件)：

日本顕微鏡学会 , 電子情報通信学会 , 応用物理学会

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