研究者
J-GLOBAL ID:200901071260732873   更新日: 2022年09月13日

持地 広造

モチジ コウゾウ | Mochiji Kouzou
所属機関・部署:
職名: 教授
ホームページURL (1件): http://www.eng.u-hyogo.ac.jp/mse/mse15/physics2006/
研究分野 (4件): 電気電子材料工学 ,  薄膜、表面界面物性 ,  生体化学 ,  半導体、光物性、原子物理
研究キーワード (7件): 質量分析 ,  ビーム応用 ,  電子励起 ,  表面反応 ,  beam application ,  electronic excitation ,  Surface reaction
競争的資金等の研究課題 (2件):
  • 2006 - 2009 ガスクラスターSIMSの開発
  • 1992 - Electronic excitation at surfaces by using beams and nanoprobes
MISC (120件):
特許 (119件):
  • ドライエッチング方法
  • 表面処理方法および装置
  • 表面解析方法および装置
  • エッチング方法とその装置
  • 光励起エッチング法
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書籍 (1件):
  • 「放射光励起プロセス技術」 (共著)
    電気学会 1995
学歴 (4件):
  • - 1975 東北大学 理学研究科 化学専攻
  • - 1973 東北大学 理学部 化学科
  • - 1973 東北大学
  • 東北大学
学位 (1件):
  • 理学博士 (東北大学)
経歴 (2件):
  • 2002 - -姫路工業大学 教授
  • 2002 - - Professor, Himeji Institute of Technology
所属学会 (10件):
米国物理学会 ,  日本真空協会 ,  日本表面科学会 ,  日本物理学会 ,  応用物理学会 ,  American Physical Society ,  The Vacuum Society of Japan ,  The Surface Science Society of Japan ,  The Physical Society of Japan ,  The Japan Society of Applied Physics
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