研究者
J-GLOBAL ID:200901072088276034   更新日: 2024年09月19日

山部 紀久夫

Kikuo Yamabe
研究分野 (2件): 薄膜、表面界面物性 ,  応用物性
競争的資金等の研究課題 (7件):
  • 2002 - 2007 半導体表面物性、ナノ構造制御技術
  • 2001 - 2005 ガラス基板上の極薄結晶シリコン膜TFTのCu汚染に関する研究
  • 2003 - 超高集積回路における絶縁膜技術
  • 2003 - 金属酸化物の電気伝導および信頼性に関する共同研究
  • 1999 - 2000 高信頼性シリコン酸化膜実現に関する共同研究
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論文 (90件):
書籍 (17件):
  • Physica Status Solidi C - Current Topics in Solid State Physics, Vol 4, No 10
    WILEY-V C H VERLAG GMBH 2007
  • 2005 IEEE INTERNATIONAL RELIABILITY PHYSICS SYMPOSIUM PROCEEDINGS - 43RD ANNUAL
    IEEE 2005 ISBN:0780388038
  • FUNDAMENTALS OF NOVEL OXIDE/SEMICONDUCTOR INTERFACES
    MATERIALS RESEARCH SOCIETY 2004 ISBN:1558997245
  • SILICON CARBIDE AND RELATED MATERIALS 2003, PTS 1 AND 2
    TRANS TECH PUBLICATIONS LTD 2004
  • POSITRON ANNIHILATION, ICPA-13, PROCEEDINGS
    TRANS TECH PUBLICATIONS LTD 2004 ISBN:0878499369
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講演・口頭発表等 (22件):
  • Unique behavior of F-centers in high-k Hf-based oxides
    (23rd International Conference on Defects in Semiconductors)
  • Charge trapping by oxygen-related defects in HfO2-based high-k gate dielectrics
    (43rd Annual IEEE International Reliability Physics Symposium)
  • Transient capacitance in metal-oxide-semiconductor structures with stacked gate dielectrics
    (International Workshop on Dielectric Thin Films for Future ULSI Devices (IWDTF-4))
  • Characterization of Hf0.3Al0.7Ox fabricated by atomic-layer-deposition technique using monoenergetic positron beams
    (International Workshop on Dielectric Thin Films for Future ULSI Devices (IWDTF-4))
  • Nommiformity in ultrathin SiO2 on Si(111) characterized by conductive atomic force microscopy
    (International Workshop on Dielectric Thin Films for Future ULSI Devices (IWDTF-4))
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学位 (1件):
  • 工学博士 (大阪大学)
経歴 (5件):
  • 1995 - 2001 筑波大学 助教授
  • 2001 - 筑波大学 教授
  • 1990 - 1995 (株)東芝 主任研究員
  • 1977 - 1990 (株)東芝 研究員
  • 筑波大学 数理物質系 教授
委員歴 (1件):
  • 2001 - 2003 応用物理学会 理事
受賞 (1件):
  • 1994 - 日経BP技術賞電子部門
所属学会 (2件):
Electrochemical Society ,  応用物理学会
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