研究者
J-GLOBAL ID:200901085876813959
更新日: 2020年05月07日
馬場 茂
ババ シゲル | Baba Shigeru
研究分野 (4件):
応用物理一般
, 薄膜、表面界面物性
, 結晶工学
, 応用物性
研究キーワード (4件):
薄膜 密着性 表面粗さ
, Surface Roughness
, Adhesion
, Scratch
競争的資金等の研究課題 (6件):
薄膜界面の力学物性
プラズマ処理およびスパッタリング
薄膜の形成技術および物性
Mechanical Properties of Thin Film Interfaces
Plasma Processing and Sputtering
Structure and Properties of Thin Films
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MISC (22件):
S.Baba, Y.Yamaguchi, M.Ogawa, T.Nakano. Two critical events observed on Cu films on glass substrate in the micro-scratch test. Adhesion Aspects of Thin Films. 2005. 2. 203-213
S Baba, Mori, I, T Nakano. Precise determination of the refractive index of sputtered MgO thin films in the visible light range. VACUUM. 2000. 59. 2-3. 531-537
T Nakano, S Baba. A hybrid simulation of high pressure sputtering, combining the Monte Carlo method and the diffusive approach. THIN SOLID FILMS. 1999. 343. 24-26
S Baba, T Midorikawa, T Nakano. Unambiguous detection of the adhesive failure of metal films in the microscratch test by waveform analysis of the friction signal. APPLIED SURFACE SCIENCE. 1999. 144-45. 344-349
Alloying and electrical properties of evaporated Cu-In bilayer thin films (共著). Thin Solid Films. 1998. 334. 1/2. 192-195
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学歴 (4件):
- 1974 東京大学 工学研究科 応用物理学
- 1974 東京大学
- 1972 東京大学 工学部 物理工学
- 1972 東京大学
学位 (2件):
工学博士
工学修士
経歴 (1件):
成蹊大学 理工学部 物質生命理工学科 教授
所属学会 (6件):
塗装技術協会
, 表面科学会
, American Vacuum Society
, 真空協会
, 表面技術協会
, 応用物理学会
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