研究者
J-GLOBAL ID：200901087272355050   更新日: 2022年12月26日

高橋 主人

タカハシ カズエ | Takahashi Kazue
研究分野 (1件)： 薄膜、表面界面物性
研究キーワード (1件)： 微粒子付着・除去
競争的資金等の研究課題 (2件)：
  • 2014 - 2017 ディープサブミクロン対応の付着微粒子静電清浄化システムの開発
  • 2011 - 2014 ディープサブミクロン対応の付着微粒子静電除去技術の基礎開発
論文 (4件)：
講演・口頭発表等 (6件)：
  • フィルムによる付着微粒子除去における諸問題
    (第55回粉体に関する討論会 2017)
  • 高速気流により分散した微粒子の平板試料への付着特性
    (第54回粉体に関する討論会 2016)
  • フィルムによるシリコン表面に付着した微粒子の除去に及ぼす押付力の影響
    (第54回粉体に関する討論会 2016)
  • 大気圧を利用した表面付着微粒子の除去
    (第55回真空に関する連合講演会 2015)
  • 静電吸着によるシリコン表面上の微粒子除去における微粒子サイズの影響
    (第54回真空に関する連合講演会 2014)
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学歴 (1件)：
  • - 1971 東北大学 理学部 物理学科
学位 (1件)：
  • 博士(工学) (東北大学)
委員歴 (1件)：
  • 2008 - 現在 日本表面真空学会 真空技術者担当専門委員会委員長
所属学会 (2件)：
American Vacuum Society ,  日本表面真空学会
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