- 2001 - 2004 InN、GaNおよびその混晶によるヘテロ構造の作製とHFETへの応用に関する研究
- 1997 - 1998 アルミニウムの原子層堆積法の確立
- 1995 - 1997 シリコン系人工結晶の作製とその物性評価に関する研究
- 1996 - 1996 界面ゆらぎを完全に除去したIV族半導体の極短周期超格子の作製
- 1995 - 1995 IV族半導体の単原子層超格子の作製
- 1994 - 1994 1原子寸法オーダーで急峻なシリコン/ゲルマニウムヘテロ界面の形成法に関する研究
- 1994 - 1994 深さ方向分解能の高いオージェ電子分光法によるSi/Geヘテロ界面の評価
- 1992 - 1994 シリコン高効率発光デバイスの研究
- 1992 - 1993 超活性ガスを用いたIV族半導体の原子層成長に関する研究
全件表示