研究者
J-GLOBAL ID:201001019173954524   更新日: 2024年12月04日

小川 修一

オガワ シユウイチ | Ogawa Shuichi
所属機関・部署:
職名: 准教授
ホームページURL (1件): https://ogawalab.ee.cit.nihon-u.ac.jp/
研究分野 (4件): 加工学、生産工学 ,  反応工学、プロセスシステム工学 ,  電気電子材料工学 ,  薄膜、表面界面物性
研究キーワード (4件): 半導体材料プロセス ,  プラズマプロセス ,  ナノ炭素材料 ,  表面分析
競争的資金等の研究課題 (16件):
  • 2024 - 2027 省エネルギーと演算性能が両立した集積回路層間絶縁膜用DLC成膜手法の開発
  • 2024 - 2027 シビアアクシデント回避に向けた二次元材料を活用した燃料被覆管の腐食抑制の研究
  • 2023 - 2027 層間挿入によるh-BNの半導体化とベータボルタ電池応用
  • 2023 - 2026 材料歪み制御によるメカノケミカル効果の触媒応用
  • 2023 - 2024 SiCパワーMOSFETの高効率化に向けたゲート絶縁膜形成プロセスの検証
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論文 (83件):
  • Takami Tomohide, Nishiyama Hokuto, Watanabe Yu, Omi Haruna, Ohta Mizuki, Ono Manami, Watabe Minami, Miyashita Kazuho, Mitsui Taiga, Yoneda Rio, et al. Development of Multi-Functional Submicropipettes for Exploring Biomaterials. 工学院大学研究論叢. 2024. 61. 1. 19-30
  • Shuichi Ogawa. Evaluation of Electronic/Chemical State of Nano Carbon Materials Using Photoelectron Spectroscopy. Journal of Surface Analysis. 2023. 29. 2. 82-89
  • Tomohide Takami, Chie Ohtomo, Naoki Kaneko, Kyo Shibuya, Kazuho Miyashita, Mizuki Ohta, Rio Yoneda, Mamiko Ozawa, Hideyuki Magara, Shuichi Ogawa, et al. Argon Gas Flow Through Micro- and Nano-pipettes. e-Journal of Surface Science and Nanotechnology. 2023. 21. 4. 257-261
  • Hisato Yamaguchi, Ryunosuke Yusa, Gaoxue Wang, Michael T. Pettes, Fangze Liu, Yasutaka Tsuda, Akitaka Yoshigoe, Tadashi Abukawa, Nathan A. Moody, Shuichi Ogawa. Work function lowering of LaB6 by monolayer hexagonal boron nitride coating for improved photo- and thermionic-cathodes. Applied Physics Letters. 2023. 122. 14. 141901/1-7
  • Yasutaka Tsuda, Akitaka Yoshigoe, Shuichi Ogawa, Tetsuya Sakamoto, Yoshiki Yamamoto, Yukio Yamamoto, Yuji Takakuwa. Roles of excess minority carrier recombination and chemisorbed O2 species at SiO2/Si interfaces in Si dry oxidation: Comparison between p-Si(001) and n-Si(001) surfaces. The Journal of Chemical Physics. 2022. 157. 23. 234705/1-21
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MISC (33件):
  • 小川 修一. 二次元原子層物質コーティングによる電子放出源の耐久性/性能向上の両立. ISOTOPE NEWS. 2024. 791. 6-9
  • 小川修一, 虻川匡司. 東北大学 国際放射光イノベーション・スマート研究センター 基幹研究部門 界面計測スマートラボの紹介. NEWS LETTER. 2022. 155. 5-6
  • 吉越章隆, 小川修一, 髙桑雄二. 特集号「表面反応観察における大気圧光電子分光の現状、利用研究と展望」企画説明. 放射光. 2022. 35. 3. 157-157
  • 髙桑雄二, 小川修一, 吉越章隆. X線光電子分光によるガス雰囲気中の表面反応観察:歴史、応用、課題、将来展望. 放射光. 2022. 35. 3. 158-171
  • 小川修一, Hisato Yamaguchi, Edward F. Holby, 山田貴壽, 吉越章隆, 高桑雄二. 高運動エネルギーO2分子に対するグラフェンのガスバリア性. SPring-8/SACLA利用者情報. 2021. 26. 3. 251-255
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書籍 (3件):
  • 放射光利用の手引き -農水産・医療、エネルギー、環境、材料開発分野などへの応用-
    アグネ技術センター 2019 ISBN:9784901496957
  • X線光電子分光法
    講談社 2018 ISBN:9784065140475
  • グラフェンが拓く材料の新領域 -物性・作製法から実用化まで-
    エヌ・ティー・エス 2012 ISBN:9784864690355
講演・口頭発表等 (474件):
  • Observation of Chemisorbed O2 Molecule at SiO2/Si(001) Interface During Si Dry Oxidation
    (Annual Meeting of the Japan Society of Vacuum and Surface Science 2024 2024)
  • Wet-chemical functionalization of graphene toward Fermi level and carrier density tuning
    (The 10th International Symposium on Surface Science 2024)
  • Comparison of Single-step Oxidation Loop A and Double-step Oxidation Loop B between p-Si(001) and n-Si(001) surfaces
    (The 10th International Symposium on Surface Science 2024)
  • 一段階酸化Loop Aと二段階酸化Loop Bの反応キネティクス: p-Si(001)とn-Si(001)表面の比較
    (第85回応用物理学会秋季学術講演会 2024)
  • 機能性材料の保護と高度化を両立させる二次元物質コーティング
    (Controlled growth and characterization研究会 2024)
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学歴 (3件):
  • - 2008 東北大学 大学院工学研究科 ナノメカニクス専攻
  • - 2005 東北大学 大学院工学研究科 機械電子工学専攻
  • - 2003 東北大学 工学部 機械電子工学科
学位 (1件):
  • 博士(工学) (東北大学)
経歴 (9件):
  • 2023/04 - 現在 日本大学 生産工学部 電気電子工学科 准教授
  • 2020/10 - 2023/03 東北大学 多元物質科学研究所 計測研究部門 助教
  • 2020/10 - 2023/03 東北大学 国際放射光イノベーション・スマート研究センター 基幹研究部門 助教
  • 2010/04 - 2020/09 東北大学 多元物質科学研究所 助教
  • 2018/11 - 2019/04 シンガポール国立大学 工学部 客員研究員
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委員歴 (21件):
  • 2024/09 - 現在 The 16th Conference on Atomically Controlled Surfaces, Interfaces and Nanostructures steering committee
  • 2024/04 - 現在 公益社団法人応用物理学会 薄膜表面物理分科会 幹事
  • 2023/02 - 現在 応用物理学会 代議員
  • 2022/04 - 2024/03 応用物理学会 薄膜・表面物理分科会 庶務幹事
  • 2021/04 - 2023/03 日本表面真空学会 東北・北海道支部 幹事
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受賞 (12件):
  • 2025/05 - 公益社団法人日本表面真空学会 2024年度日本表面真空学会論文賞 Observation of Chemisorbed O<sub>2</sub> Molecule at SiO<sub>2</sub>/Si(001) Interface During Si Dry Oxidation
  • 2015/07 - 13th International Symposium on Sputtering and Plasma Processes ISSP2015 Best Poster Award Ion incident energy dependence for Cu surface smoothing using Ar+ ions generated by photoemission-assisted plasma
  • 2014/09 - International Conference on Diamond and Carbon Materials Poster Award Decrease mechanism of the resistivity of networked nano- graphite grown by photoemission -assisted plasma -enhanced CVD using CH<sub>4</sub>/Ar and CH<sub>4</sub>/H<sub>2</sub>
  • 2010/12 - 東北大学多元物質科学研究所 第5回 籏野奨学基金多元物質科学研究奨励賞 光電子制御プラズマCVDを用いた多層グラフェン成長プロセスの開発
  • 2009/02/04 - 財団法人井上科学振興財団 第25回井上研究奨励賞 熱酸化プロセスによる極薄シリコン酸化膜形成過程の研究
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所属学会 (2件):
日本表面真空学会 ,  応用物理学会
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