研究者
J-GLOBAL ID：202001007586027370   更新日: 2024年12月03日

古澤 孝弘

古澤 孝弘 | KOZAWA TAKAHIRO
所属機関・部署：
大阪大学 産業科学研究所

大阪大学 産業科学研究所 について


職名： 教授
研究分野 (4件)： 量子ビーム科学 ,  その他 ,  電気電子材料工学 ,  ナノ材料科学
研究キーワード (9件)： 機械学習 ,  レジスト ,  現像 ,  電子線 ,  リソグラフィ ,  極端紫外光 ,  微細加工材料 ,  放射線化学 ,  量子ビーム
競争的資金等の研究課題 (18件)：
  • 2018 - 2023 量子ビーム科学とデータ科学の融合によるシングルナノ材料開発
  • 2015 - 2018 放射線誘起ナノ微細加工における電荷非局在性の影響
  • 2013 - 2018 量子ビーム複合利用による最先端微細加工材料のナノ化学の研究
  • 2010 - 2012 量子ビーム複合利用によるナノ空間反応および反応場の研究
  • 2009 - 2011 凝縮相における熱化電子の大きさの研究
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論文 (428件)：
  • Hitomi Betsumiya, Mikiko Kozawa, Takahiro Kozawa, Takashi Hasebe, Kazuo Sakamoto, Makoto Muramatsu. Quartz crystal microbalance analysis of effects of surfactants on dissolution kinetics of poly(4-hydroxystyrene) partially protected by t-butoxycarbonyl group. Japanese Journal of Applied Physics. 2024. 63. 11. 116501-116501
  • Jiahao Wang, Takahiro Kozawa. Relationship between the surface free energy of underlayers and the dissolution kinetics of poly(4-hydroxystyrene) partially protected by t-butoxycarbonyl groups in tetramethylammonium hydroxide aqueous developer. Japanese Journal of Applied Physics. 2024. 63. 9. 096502-096502
  • Yoshika Tsuda, Yusa Muroya, Takahiro Kozawa, Takuya Ikeda, Yoshitaka Komuro. Effects of acid generator anions on radiation-induced decomposition and dissolution kinetics of chemically amplified resists. Japanese Journal of Applied Physics. 2024. 63. 8. 086505-086505
  • Yuqing Jin, Yuko Tsutsui Ito, Takahiro KOZAWA, Takashi Hasebe, Kazuo Sakamoto, Makoto Muramatsu. Stratified polymer dissolution model based on impedance data from quartz crystal microbalance method. Applied Physics Express. 2024. 17. 086502-086502
  • Yuko Tsutsui Ito, Takahiro Kozawa. Corrigendum: “Relationship between surface free energy and development process (swelling and dissolution kinetics) of poly(4-hydroxystyrene) film in water and 2.38 wt% tetramethylammonium hydroxide aqueous solution” [Jpn. J. Appl. Phys. 61, 016502 (2022)]. Japanese Journal of Applied Physics. 2024. 63. 8. 089301-089301
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MISC (199件)：
  • Yuqing Jin, Takahiro Kozawa, Kota Aoki, Tomoya Nakamura, Yasushi Makihara, Yasushi Yagi. Chemical information extraction from scanning electron microscopy images on the basis of image recognition. Advances in Patterning Materials and Processes XL. 2023. 12498. 1249825
  • 重政凌亮, SUGIANTO Wildatus Sa’diyah, 植竹裕太, 植竹裕太, 室屋裕佐, 古澤孝弘, 櫻井英博, 櫻井英博. 水酸化フラーレンを保護剤とした卑金属ナノ粒子の調製検討. 日本化学会春季年会講演予稿集(Web). 2023. 103rd
  • 高田結以, 室屋裕佐, 古澤孝弘, 榎本智至, NAQVI Bilal, DE DANILO Simone. スズ含有レジストの放射線誘起反応機構の解明. 日本原子力学会秋の大会予稿集(CD-ROM). 2022. 2022
  • 山本洋揮, 古澤孝弘. 極端紫外光(EUV)リソグラフィ用のマスク作製. 応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM). 2022. 83rd
  • 室屋裕佐, 和田陽一, 石田一成, 清水亮介, 古澤孝弘. トラック拡散モデル計算による高温水の中性子ラジオリシス初期過程の研究. 放射線化学討論会講演要旨集. 2022. 65th (CD-ROM)
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特許 (10件)：
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学歴 (5件)：
  • 2003 - 工学博士
  • 1992 - 1993 東京大学大学院工学系研究科原子力工学専攻博士課程退学
  • 1990 - 1992 東京大学大学院工学系研究科原子力工学専攻修士課程修了
  • - 1990 東京大学工学部原子力工学科卒業
  • - 1985 智弁学園高等学校卒業
学位 (1件)：
  • 工学博士 (大阪大学)
経歴 (5件)：
  • 2011/06 - 現在 大阪大学産業科学研究所 教授
  • 2007/04 - 2011/05 大阪大学産業科学研究所 准教授
  • 2003/04 - 2007/03 大阪大学産業科学研究所 助教授
  • 1996/06 - 2002/03 大阪大学産業科学研究所 助手
  • 1993/04 - 1996/05 東京大学工学部附属原子力工学研究施設 助手
受賞 (3件)：
  • 2010/03 - 応用物理学会シリコンテクノロジー分科会 論文賞
  • 2008/10 - 20th International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC2007) Most Impressive Presentation
  • 2008/10 - 日本放射線化学会 学術賞
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