古澤孝弘

古澤孝弘 | KOZAWA TAKAHIRO

所属機関・部署：
職名：教授

研究分野 (4件)：量子ビーム科学 , その他 , 電気電子材料工学 , ナノ材料科学

研究キーワード (9件)：機械学習 , レジスト , 現像 , 電子線 , リソグラフィ , 極端紫外光 , 微細加工材料 , 放射線化学 , 量子ビーム

競争的資金等の研究課題 (18件)：

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論文 (407件)：

Takahiro Kozawa. Relationship between Defect Risks and Effective Reaction Radius for Deprotection in Chemically Amplified Resist Process for Extreme Ultraviolet Lithography. Journal of Photopolymer Science and Technology. 2024. 37. 1. 129-134
Akihiro Konda, Hiroki Yamamoto, Shusuke Yoshitake, Takahiro Kozawa. Transient Swelling During Development of Poly(methyl methacrylate) Resist. Journal of Photopolymer Science and Technology. 2024. 37. 1. 81-88
Takahiro Kozawa. Design strategy of extreme ultraviolet resists. Japanese Journal of Applied Physics. 2024. 63. 5. 050101-050101
Hiroki Yamamoto, Yuko Tsutsui Ito, Kazumasa Okamoto, Shuhei Shimoda, Takahiro KOZAWA. A study on the resist performance of inorganic-organic resist materials for EUV and electron-beam lithography. Japanese Journal of Applied Physics. 2024. 63. 04SP87
Yuko Tsutsui Ito, Kyoko Watanabe, Takahiro Kozawa, Kazuo Sakamoto, Makoto Muramatsu. Dissolution dynamics of poly(4-hydroxystyrene) in potassium hydroxide (KOH) and sodium hydroxide (NaOH) aqueous solutions investigated by quartz crystal microbalance (QCM) method. Japanese Journal of Applied Physics. 2024. 63. 4. 046502-046502

MISC (198件)：

Yuqing Jin, Takahiro Kozawa, Kota Aoki, Tomoya Nakamura, Yasushi Makihara, Yasushi Yagi. Chemical information extraction from scanning electron microscopy images on the basis of image recognition. Advances in Patterning Materials and Processes XL. 2023. 12498. 1249825
重政凌亮, SUGIANTO Wildatus Sa’diyah, 植竹裕太, 植竹裕太, 室屋裕佐, 古澤孝弘, 櫻井英博, 櫻井英博. 水酸化フラーレンを保護剤とした卑金属ナノ粒子の調製検討. 日本化学会春季年会講演予稿集(Web). 2023. 103rd
高田結以, 室屋裕佐, 古澤孝弘, 榎本智至, NAQVI Bilal, DE DANILO Simone. スズ含有レジストの放射線誘起反応機構の解明. 日本原子力学会秋の大会予稿集(CD-ROM). 2022. 2022
山本洋揮, 古澤孝弘. 極端紫外光(EUV)リソグラフィ用のマスク作製. 応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM). 2022. 83rd
室屋裕佐, 和田陽一, 石田一成, 清水亮介, 古澤孝弘. トラック拡散モデル計算による高温水の中性子ラジオリシス初期過程の研究. 放射線化学討論会講演要旨集. 2022. 65th (CD-ROM)

特許 (10件)：

学歴 (5件)：

学位 (1件)：

経歴 (5件)：

受賞 (3件)：

2010/03 - 応用物理学会シリコンテクノロジー分科会論文賞
2008/10 - 20th International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC2007) Most Impressive Presentation
2008/10 - 日本放射線化学会学術賞

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