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研究者

J-GLOBAL ID：202001013117524710 更新日: 2025年02月05日

伊藤智子

イトウトモコ | Tomoko Ito

所属機関・部署：
ホームページURL (1件)： http://www.camt.eng.osaka-u.ac.jp/hamaguchi/

研究分野 (1件)：プラズマ応用科学

研究キーワード (3件)：プラズマ固体表面反応 , プラズマ微細加工プロセス , 原子層エッチング

競争的資金等の研究課題 (7件)：

2021 - 2024 ビーム実験による次世代半導体Ga2O3のプラズマエッチング表面反応機構の解明
2022 - 2023 in-situ表面反応解析装置を用いた磁性材料に対するサーマル原子層エッチング表面反応機構の解明
2021 - 2022 超音速分子ビームを用いた遷移金属におけるアトミックレイヤーエッチング表面反応機構の解明
2018 - 2021 反応性プラズマを用いた原子層エッチング開発のためのイオン-固体表面反応機構の解明
2017 - 2018 反応性プラズマを用いた原子層エッチング(ALE:Atomic Layer Etching)プロセス開発のためのプラズマ表面反応機構の解明

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論文 (26件)：

Anjar Anggraini Harumningtyas, Tomoko Ito, Hidekazu Kita, Joe Kodama, Takashi Kaito, Satoshi Hamaguchi. Amine plasma polymers deposited on porous hydroxyapatite artificial bone with bipolar pulsed discharges. Journal of Vacuum Science & Technology A. 2024. 42. 5
Anjar Anggraini Harumningtyas, Tomoko Ito, Michiro Isobe, Lenka Zajíčková, Satoshi Hamaguchi. Molecular dynamics simulation of amine formation in plasma-enhanced chemical vapor deposition with hydrocarbon and amino radicals. Journal of Vacuum Science & Technology A. 2023. 41. 6
Anjar Anggraini Harumningtyas, Tomoko Ito, Masato Ikuta, Takashi Kaito, Satoshi Hamaguchi. Polyetheretherketone (PEEK) Implant Functionalization with Magnetron-Sputtered SrTiO3 for Regenerative Medicine. Plasma Medicine. 2023. 13. 3. 53-67
Karsten Arts, Satoshi Hamaguchi, Tomoko Ito, Kazuhiro Karahashi, Harm C M Knoops, Adriaan J M Mackus, Wilhelmus M M, Kessels. Foundations of atomic-level plasma processing in nanoelectronics. 2022. 31. 10. 103002-103002
Tomoko Ito, Hidekazu Kita, Kazuhiro Karahashi, Satoshi Hamaguchi. Low-energy ion irradiation effects on chlorine desorption in plasma-enhanced atomic layer deposition (PEALD) for silicon nitride. Japanese Journal of Applied Physics. 2022. 61. SI. SI1011-SI1011

MISC (5件)：

唐橋一浩, 伊藤智子, 浜口智志. エッチング表面反応の実験的理論的アプローチ. 応用物理学会誌「応用物理」. 2022. 91. 3
伊藤智子, 唐橋一浩, 浜口智志. 難エッチング材料に対する原子層エッチング反応解析. プラズマ・核融合学会誌. 2021. 97. 9. 522-527
唐橋一浩, 伊藤智子, 浜口智志. ビーム実験による原子スケールプロセスにおける表面反応解析-シリコン材料・デバイス. 電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報. 2019. 119. 273. 11-16
小玉城, 杉本敏司, 伊藤智子, ANJAR Anggraini Harumningtyas, 吉川秀樹, 浜口智志, 海渡貴司. プラズマ技術を用いた骨分化促進能を有する人工骨の開発. 日本整形外科学会雑誌. 2019. 93. 8
伊藤智子, 浜口智志. 技術解説低温大気圧プラズマによる滅菌技術. 機関紙「空気清浄」. 2014. 52. 4. 295-304

特許 (2件)：

講演・口頭発表等 (70件)：

Surface analyses of β-diketone-adsorbed transition metal materials in atomic layer etching (ALE) processes
(14th EU-Japan Joint Symposium on Plasma Processing (JSPP-14) 2023)
Surface reactions of Si and SiO 2 exposed t o energetic tungsten fluoride ion beams
(14th EU-Japan Joint Symposium on Plasma Processing (JSPP-14) 2023)
Thermal and Plasma-enhanced Atomic Layer Deposition of Strontium Oxide on Artificial Spinal Cage
(14th EU-Japan Joint Symposium on Plasma Processing (JSPP-14) 2023)
フッ化タングステンイオンによるSiおよびSiO2エッチング反応の評価
(第70回応用物理学会春季学術講演会 2023)
SiO2 etching reactions by high-energy WFx+ (X= 1-4) ion injection
(DPS2022 43rd International Symposium on Dry Process 2022)

学歴 (3件)：

経歴 (7件)：

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委員歴 (2件)：

受賞 (3件)：

2014/05 - 日本質量分析学会第62 回質量分析総合討論会ベストプレゼンテーション賞優秀賞
2012/09 - 応用物理学会プラズマエレクトロニクス分科会第11回プラズマエレクトロニクス賞
2010/11 - 第32回ドライプロセス国際シンポジウム組織委員会 Young Researcher Award (The 32nd International Symposium on Dry Process)

所属学会 (3件)：

American Vacuum Society , プラズマエレクトロニクス分科会(応用物理学会 ) , 応用物理学会

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伊藤 智子