法線ベクトル追跡型超精密形状測定装置における駆動軸制御方法

発明者： ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (3件)：柳野隆生 , 森岡則夫 , 関口久由
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-203495
公開番号（公開出願番号）：特開2010-038792
出願日： 2008年08月06日
公開日（公表日）： 2010年02月18日
要約：

【課題】計測点の座標と法線ベクトルの計測値から被測定物の表面形状を導出し、各軸の制御方法を工夫することによって各計測点での計測時間を短縮し、被測定物の表面形状測定の高速化を図ることが可能な法線ベクトル追跡型超精密形状測定装置における駆動軸制御方法を提供する。【解決手段】 2軸2組のゴニオメータと、その回転中心間の距離を変える1軸直進ステージとで構成し、1組のゴニオメータは試料系2を構成し、その可動部に被測定物1を保持し、もう1組のゴニオメータは光学系3を構成し、その可動部に光源と光検出器Dを設け、2軸2組のゴニオメータと1軸の直進ステージの内、2軸1組のゴニオメータと1軸の直進ステージは、光検出器からの出力を直接軸駆動モータに入力するフルクローズドフィードバック制御し、残り2軸1組のゴニオメータはセミクローズドフィードバック制御する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

少なくとも2軸2組のゴニオメータと、その回転中心間の距離を変える1軸直進ステージとで構成し、1組のゴニオメータは試料系を構成し、その可動部に被測定物を保持し、もう1組のゴニオメータは光学系を構成し、その可動部に光源と光検出器を設け、光源から出射された計測ビームと被測定物表面で反射された反射ビームが完全に重なるように、2軸2組のゴニオメータを制御するとともに、光検出器と被測定物表面間の光路長Lが一定になるように1軸直進ステージを制御して、被測定物表面の任意計測点の法線ベクトルを計測することから形状を求める法線ベクトル追跡型超精密形状測定装置において、2軸2組のゴニオメータと1軸の直進ステージの内、2軸1組のゴニオメータと1軸の直進ステージは、光検出器からの出力を直接軸駆動モータに入力するフルクローズドフィードバック制御にするとともに、残り2軸1組のゴニオメータはセミクローズドフィードバック制御とすることを特徴とする法線ベクトル追跡型超精密形状測定装置における駆動軸制御方法。

IPC (1件)：

G01B 11/24

FI (1件)：

G01B11/24 A

Fターム (12件)：

2F065AA53 , 2F065CC21 , 2F065DD06 , 2F065FF01 , 2F065HH13 , 2F065JJ22 , 2F065MM04 , 2F065PP04 , 2F065QQ16 , 2F065QQ18 , 2F065QQ21 , 2F065RR05

引用特許：

出願人引用 (7件)

特許第3598983号公報
特許第3598983号
特開昭62-147339

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審査官引用 (6件)

特許第3598983号
特開昭62-147339
傾きセンサ装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-308428 出願人：オリンパス株式会社

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