回転対称形状の超精密形状測定方法及びその装置

発明者： ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (3件)：柳野隆生 , 森岡則夫 , 関口久由
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-180408
公開番号（公開出願番号）：特開2011-033490
出願日： 2009年08月03日
公開日（公表日）： 2011年02月17日
要約：

【課題】回転対称形状であり、主に球面若しくは球面に近似できる非球面の形状で、曲率半径が小さな被測定物の表面の形状を、短時間で1nm程度の形状精度で測定可能、低コスト化可能な回転対称形状の超精密形状測定方法及びその装置を提供する。【解決手段】計測ビームが被測定物表面で反射され、反射ビームを光検出器で検出して表面の任意計測点の法線ベクトルを計測することから形状を求める法線ベクトル追跡型超精密形状測定方法において、光検出器5が受光面における反射ビームの変位を計測可能であり、光学系2の光軸と被測定物の中心線を一致させて計測ビームと反射ビームとが重なるように初期設定した後、試料系3又は光学系2の一方のみを2軸1組のゴニオメータ6,7で駆動して計測ビームで被測定物表面の測定範囲を走査し、反射ビームの角度変化からその点での法線ベクトルを算出する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

光源と光検出器を設けた光学系と被測定物を保持した試料系とを備え、光源から出射された計測ビームが被測定物表面で反射され、その反射ビームを光検出器で検出して被測定物表面の任意計測点の法線ベクトルを計測することから形状を求める法線ベクトル追跡型超精密形状測定方法において、前記被測定物の表面が回転対称形状で、主に球面若しくは球面に近似できる非球面であり、前記光検出器が受光面における反射ビームの変位を計測可能であり、前記光学系の光軸と被測定物の中心線を一致させて計測ビームと反射ビームとが重なるように初期設定した後、試料系又は光学系の一方のみを2軸1組のゴニオメータで駆動して計測ビームで被測定物表面の測定範囲を走査し、反射ビームの角度変化からその点での法線ベクトルを算出することを特徴とする回転対称形状の超精密形状測定方法。

IPC (3件)：

G01B 11/24 , G01B 11/26 , G01M 11/00

FI (3件)：

G01B11/24 A , G01B11/26 Z , G01M11/00 L

Fターム (23件)：

2F065AA35 , 2F065AA53 , 2F065BB05 , 2F065FF43 , 2F065GG04 , 2F065JJ03 , 2F065JJ18 , 2F065JJ24 , 2F065JJ26 , 2F065LL02 , 2F065LL04 , 2F065LL24 , 2F065LL36 , 2F065LL37 , 2F065MM02 , 2F065PP12 , 2F065QQ13 , 2F065QQ17 , 2F065QQ18 , 2F065QQ27 , 2F065QQ28 , 2F065UU05 , 2G086FF01

引用特許：

審査官引用 (4件)

超精密形状測定方法及びその装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-060997 出願人：森勇藏
特許第2575128号
特公平7-001166

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