研究者
J-GLOBAL ID：200901032450098822
更新日: 2024年02月08日
本間 哲哉
ホンマ テツヤ | Homma Tetsuya
所属機関・部署：
職名：
教授
研究分野 (3件)：
電子デバイス、電子機器
, 電気電子材料工学
, 光工学、光量子科学
競争的資金等の研究課題 (5件)：
- 2011 - 2013 廃棄FPD・CRT・プリント配線板等からの有用金属リサイクル技術の開発
- 2004 - 2005 廃棄ガラス/廃液フッ化水素からのガラスリサイクルと金属元素分離メカニズム
- 2001 - 2003 選択液相成長フッ素添加酸化シリコン薄膜を用いる光波制御デバイスに関する研究
- 1997 - 1998 有機電界発光素子の高効率化と安定性の改善
- FPD・CRT・蛍光管からの有用金属回収・リサイクルに関する研究
論文 (72件)：
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T. Matsumoto, T. Homma. Effect on Etch Rate and Surface Roughness of Crystal Orientation of Polycrystalline Silicon Used for Consumable Parts of Reactive Ion Etching Equipment. ECS Journal of Solid State Science and Technology. 2022. 11. 8. Online
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T. Matsumoto, J. Kataoka, R. Saito, T. Homma. Recycling SiC Focus Rings for Reactive Ion Etching Equipment by Insertless Diffusion Bonding using Hot Isostatic Pressing. ECS Journal of Solid State Science and Technology. 2020. 9. 12. Online
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Improvement of Process Reproducibility and Particle Reduction for YF3 Coating by Collision Assisted Sintering Process in Reactive Ion Etching. The Electrochemical Society (ECS) Journal of Solid State Science and Technology. 2020. 9. 6
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Effect of Drying Condition of Emitting Layer Formed by Ink-Jet Coating on Optical Property and Film Morphology of Polymer-Based Organic Light-Emitting Diodes. 2019. 8. 2. R36-R41
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Properties of Ce3+ doped Y3Al5O12 phosphor nanoparticles formed by laser ablation in liquid for LEDs. 2018. 7. 6. R63-R69
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MISC (58件)：
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本間哲哉. 研究室紹介. 真空ジャーナル. 2019. 167. 24-25
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○本間哲哉. 廃棄電子機器からの分別不要な有用金属回収技術の開発. 2015
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○本間哲哉. 廃棄電子機器などからの有用金属回収技術. 2015
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○本間哲哉. 廃棄FPD・CRT・蛍光管・プリント基板などからの有用金属の回収技術. 月刊ディスプレイ. 2012
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○本間哲哉. 廃棄FPD・CRT・蛍光管・プリント基板などからの有用金属の回収技術. 月刊ディスプレイ. 2012. 18. 10. 74-79
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特許 (6件)：
講演・口頭発表等 (205件)：
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反応性イオンエッチング装置の上部電極ガス放出穴の垂直化の検討
(第82回応用物理学会秋季学術講演会(講演予稿集, 12a-S401-4) 2021)
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反応性イオンエッチング装置の単結晶、多結晶シリコン部品のエッチングによる変化
(第82回応用物理学会秋季学術講演会(講演予稿集, 12a-S401-3) 2021)
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無線ネットワークのノイズによる静電チャックへの影響
(第68回応用物理学会春季学術講演会(講演予稿集, 19a-Z02-2) 2021)
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衝撃焼結法により形成したフッ化イットリウムのグレインサイズと組成がエッチング耐性に及ぼす影響
(第68回応用物理学会春季学術講演会(講演予稿集,17a-Z04-4) 2021)
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SiCフォーカスリングリサイクルのための洗浄方法の検討
(第68回応用物理学会春季学術講演会(講演予稿集, 17a-Z04-5) 2021)
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Works (6件)：
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Properties of Amplitude-to-phase Noise Conversion in Self-referencing Method using Microstructure Fibers for Carrier-envelope Phase Control
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An Algorithm to Visualize Tool Difference Transitions in Semiconductor Fabrications
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Normal-Dispersion Passively Mode-Locked Ytterbium-Doped Fiber Laser with a Fundamental Repetition Rate Higher than 400 MHz
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Properties of Amplitude-to-phase Noise Conversion in Self-referencing Method using Microstructure Fibers for Carrier-envelope Phase Control
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An Algorithm to Visualize Tool Difference Transitions in Semiconductor Fabrications
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学位 (2件)：
- 博士(工学) (東京工業大学)
- 工学修士 (芝浦工業大学)
経歴 (9件)：
委員歴 (3件)：
- 2010 - (社)電気設備学会 評議員,全国大会実行委員会委員
- 2008 - (社)応用物理学会・集積化MEMS技術研究会 委員・企画
- 1999 - 2000 (社)応用物理学会・シリコンテクノロジー分科会 幹事
所属学会 (5件)：
(社)応用物理学会・シリコンテクノロジー分科会
, Inc.
, The Electrochemical Society
, (社)応用物理学会・集積化MEMS技術研究会
, 環境資源工学会
