奥山 雅則
大阪大学 大学院基礎工学研究科 システム創成専攻
高誘電率膜, 放射光, 変調分光, Si表面, SiO<sub>2</sub>-Si界面, 微小電気-機械変換素子, 電子放出素子, メモリ(記憶素子), センサ, 誘電体膜, 強誘電体膜, high-k Thin Film, Synchrotron radiation, Modulation Spectroscopy, Si Surface, SiO<sub>2</sub>-Si Interface, Micro Electro Mechanical Devices, Electron-Emission, Memory, Sensor, Ferroelectric and Dielectric thin Films