- 2007 - 強誘電体薄膜の製造
- 2004 - 2005 次世代光学材料としての大面積エピタキシャルニオブ酸リチウム極薄膜の合成
- 2004 - 2004 回転する環状液層内のパターン形成と制御
- 2001 - 2003 シリコンCZ炉における酸素移動の総合的シミュレーションと実験的検証
- 2000 - 2001 イオン、ラジカルの物性値の高精度推算
- 1999 - 2001 複酸化物薄膜のプラズマCVD装置シミュレーションコードの開発
- 1998 - 1999 熱CVD装置設計のためのグローバルプロセス解析
- 1996 - 1996 光CVDによる酸化物薄膜の常温合成プロセスの反応解析
- 1995 - 1996 量子分子動力学による多成分系CVDの反応解析と初期成膜シミュレーション
- 1994 - 1995 熱的マランゴニ対流と単結晶育成[表面張力の温度係数の符号の影響]
- 1993 - 1994 熱CVDによる多孔質体上への超薄型酸素イオン伝導膜の作製
- 1993 - 1993 MOCVD法による金属薄膜の合成と反応解析
- 物性値の測定
- 熱CVDのモデル化
- Measurement of Physical Properties
- Modeling of Thermal CVD
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