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共著の研究者

  • 奥山 雅則
    大阪大学 大学院基礎工学研究科 システム創成専攻
    高誘電率膜, 放射光, 変調分光, Si表面, SiO<sub>2</sub>-Si界面, 微小電気-機械変換素子, 電子放出素子, メモリ(記憶素子), センサ, 誘電体膜, 強誘電体膜, high-k Thin Film, Synchrotron radiation, Modulation Spectroscopy, Si Surface, SiO<sub>2</sub>-Si Interface, Micro Electro Mechanical Devices, Electron-Emission, Memory, Sensor, Ferroelectric and Dielectric thin Films
  • 田中 恒久
    大阪府立産業技術総合研究所 情報電子部
    電子回路設計, 真空応用, 薄膜, 半導体プロセス, MEMS, センサ, electronic circuit design, semiconductor processing, micromachining, sensor, thin film

共同発明の研究者

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研究者
J-GLOBAL ID:200901095149645160 更新日: 2024年12月18日

山下 馨

ヤマシタ カオル | Yamashita Kaoru
クリップ

Works (6件)

  • ナノ薄膜技術を応用したロボットのための集積多軸触覚センサの開発
    2006 -
  • ナノ薄膜技術を応用したロボットのための集積多軸触覚センサの開発
    2005 -
  • マイクロ超音波アレイセンサを用いた三次元計測
    2005 -
  • 自律移動ロボットのリアルタイム3次元計測用超音波マイクロアレイセンサに関する研究開発
    2004 -
  • 三次元計測用マイクロ超音波アレイセンサとその空間認識システムへの応用
    2004 -
  • シリコンマイクロ構造体上圧電型センサアレイの共振周波数チューニング
    2004 -

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