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J-GLOBAL ID：200902070195496595   整理番号：92A0006324

差画像検出方式異物検査装置の開発

Development of Particle Detection System using Subtracted Image Signal.

著者 (9件)： 秋山伸幸 (日立 生産技研) ,  中田俊彦 (日立 生産技研) ,  牧平坦 (日立 生産技研) ,  土井秀明 (日立 生産技研) ,  水野文夫 (日立 デバイス開セ) ,  井古田まさみ (日立 デバイス開セ) ,  細江卓朗 (日立電子エンジニアリング) ,  近松秀一 (日立電子エンジニアリング) ,  阿部茂 (日立電子エンジニアリング)
資料名： 精密工学会誌  (Journal of the Japan Society for Precision Engineering)
巻： 57  号： 11  ページ： 1955-1960  発行年： 1991年11月 
JST資料番号： F0268A  ISSN： 0912-0289  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 標記装置の構成,原理,特性を報告。ウエハ上を4方向から半導体...

シソーラス用語： 駆動機構 ,...
準シソーラス用語： チップ【IC】

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分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

引用文献 (8件)：

• 1) 秋山伸幸 : 半導体用異物検査技術, 精密工学会誌, 55, 2 (1989) 294.
• 2) 秋山伸幸ほか : 偏光レーザによるパターン付試料上の異物検査の自動化, 計測自動制御学会論文集, 17, 2 (1981) 237.
• 3) 小泉光義, 秋山伸幸 : LSIウエハパターンからの反射光の解析, 計測自動制御学会論文集, 21, 8 (1985) 856.
• 4) 小泉光義, 秋山伸幸 : LSIパターンからの反射光の偏光特性を利用した異物検出法の開発, 計測自動制御学会論文集, 25, 9 (1989) 954.
• 5) 中田俊彦, 秋山伸幸 : 2チップ比較を用いたパターン付ウエハ異物検出技術, 1989年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集, D49, (1989) 545.

タイトルに関連する用語 (3件)： 画像検出 ,  異物検査装置 ,  開発