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J-GLOBAL ID：200902101645605490   整理番号：02A0153158

マルチスポット光源を用いたサーフェスエンコーダの研究

A Surface Encoder with a Multi-Spot Light Source.

著者 (4件)： GAO W (東北大) ,  星野唯 (ニコン) ,  清水裕樹 (東北大 大学院) ,  清野慧 (東北大)
資料名： 精密工学会誌  (Journal of the Japan Society for Precision Engineering)
巻： 68  号： 1  ページ： 70-74  発行年： 2002年01月05日 
JST資料番号： F0268A  ISSN： 0912-0289  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 2次元角度格子と光学式の2次元角度センサを組み合わせたサーフ...

シソーラス用語： *位置測定 ,...

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分類 (1件)： 長さ,面積,断面,体積,容積,角度の計測法・機器  (AD05020O)

引用文献 (9件)：

• KUNZMANN, H. Scales vs Laser Interferometers, Performance and Comparison of Two Measuring Systems. Ann. CIRP. 1993, 42,2, 753
• 清野慧. 移動物体の検出用目盛り及びこれを用いた移動物体の検出装置
• KIYONO, S. An Angle-based Position Detection Method for Precision Machines. JSME Int. J. 1999, 42,1, 44
• 小倉一朗. 2次元角度格子と2次元角度センサを組み合わせた面内変位検出機構の開発. 精密工学会誌. 2000, 66,2, 272
• 清野慧. 多自由度の位置と姿勢の精密検出法の研究 - 走査型角度センサによる角度格子読取り -. 精密工学会誌. 2001, 67,3, 493

タイトルに関連する用語 (3件)： マルチ ,  スポット光 ,  研究