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J-GLOBAL ID：200902105614972902   整理番号：02A0058883

6H-SiCの犠牲陽極酸化

Sacrificial Anodic Oxidation of 6H-SiC.

著者 (3件)： KATO M (Nagoya Inst. Technol., Nagoya, JPN) ,  ICHIMURA M (Nagoya Inst. Technol., Nagoya, JPN) ,  ARAI E (Nagoya Inst. Technol., Nagoya, JPN)
資料名： Japanese Journal of Applied Physics. Part 2. Letters  (Japanese Journal of Applied Physics. Part 2. Letters)
巻： 40  号： 11A  ページ： L1145-L1147  発行年： 2001年11月01日 
JST資料番号： F0599B  ISSN： 0021-4922  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： エチレングリコール,水およびKNO₃の...

シソーラス用語： *炭化ケイ素 ,...
準シソーラス用語： *陽極酸化

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分類 (1件)： 酸化物薄膜  (BK14050P)

引用文献 (13件)：

• 1) A. Suzuki, H. Ashida, N. Furui, K. Mameno and H. Matsunami: Jpn. J. Appl. Phys. 21 (1982) 579.
• 2) H. Kobayashi, T. Sakurai, M. Nishiyama and Y. Nishioka: Appl. Phys. Lett. 78 (2001) 2336.
• 3) W. Cho, R. Kosugi, J. Senzaki, K. Fukuda, K. Arai and S. Suzuki: Appl. Phys. Lett. 77 (2000) 2054.
• 4) P. F. Schmidt and W. Michel: J. Electrochem. Soc. 104 (1957) 230.
• 5) C. J. Dell'Oca, G. Yan and L. Young: J. Electrochem. Soc. 118 (1971) 89.

タイトルに関連する用語 (3件)： 6H-SiC ,  犠牲陽極 ,  酸化