XPSで調べたRu薄膜とRuO<sub>2</sub>薄膜

KAGA Y; ABE Y; YANAGISAWA H; KAWAMURA M; SASAKI K

文献

J-GLOBAL ID：200902119345800114 整理番号：99A0939352

XPSで調べたRu薄膜とRuO₂薄膜

Ru and RuO₂ Thin Films by XPS.

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資料名：
巻： 6 号： 1 ページ： 68-74 発行年： 1999年
JST資料番号： W0429A ISSN： 1055-5269 CODEN： SSSPEN 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：データシートなど発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

標記薄膜は,電気抵抗が低く,また,熱的及び化学的安定性に優れ...

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電子分光スペクトル , 金属薄膜

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