安定な大ビーム電流を使う新しいEB系によるナノ製作

文献

J-GLOBAL ID：200902121940237983 整理番号：97A0262617

Nanofabrication with a Novel EB System with a Large and Stable Beam Current.

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資料名：
巻： 35 号： 12B ページ： 6421-6425 発行年： 1996年12月
JST資料番号： G0520B ISSN： 0021-4922 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：日本 (JPN) 言語：英語 (EN)

標記の新しい電子ビーム系と高分解能レジストを組合わせたナノ製...

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固体デバイス製造技術一般

引用文献 (19件)：

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