電源電圧の段階的変化の後のCF<sub>4</sub> rfプラズマの過渡的挙動

SO S-Y; ODA A; SUGAWARA H; SAKAI Y

文献

J-GLOBAL ID：200902125577088160 整理番号：01A0751450

電源電圧の段階的変化の後のCF₄ rfプラズマの過渡的挙動

Transient behaviour of CF₄ rf plasmas after step changes of power source voltage.

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巻： 34 号： 12 ページ： 1919-1927 発行年： 2001年06月21日
JST資料番号： B0092B ISSN： 0022-3727 CODEN： JPAPBE 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：イギリス (GBR) 言語：英語 (EN)

異方性プラズマエッチングに用いる標記プラズマを一次元流体モデ...

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気体放電

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電源電圧の段階的変化の後のCF4 rfプラズマの過渡的挙動

電源電圧の段階的変化の後のCF₄ rfプラズマの過渡的挙動