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J-GLOBAL ID：200902127669947404   整理番号：98A0950513

電子サイクロトロン共鳴支援分子ビームエピタクシーによるLiNbO₃基板上へのZnO薄膜の成長

Growth of ZnO Thin Films on LiNbO₃ Substrates by Electron Cyclotron Resonance-Assisted Molecular Beam Epitaxy.

著者 (3件)： KANG H-B (Tohoku Univ., Sendai, JPN) ,  YOSHIDA K (Tohoku Univ., Sendai, JPN) ,  NAKAMURA K (Tohoku Univ., Sendai, JPN)
資料名： Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers  (Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers)
巻： 37  号： 9B  ページ： 5220-5223  発行年： 1998年09月 
JST資料番号： G0520B  ISSN： 0021-4922  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ZカットLiNbO₃基板上に標記の成膜...

シソーラス用語： 圧電体 ,...
準シソーラス用語： IDT【変換器】

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分類 (1件)： 酸化物薄膜  (BK14050P)

引用文献 (16件)：

• 1) G. Galli and J.E. Coker: Appl. Phys. Lett. 16 (1970) 439.
• 2) S. Onishi, Y. Hirokawa, T. Shiosaki and A. Kawabata: Jpn. J. Appl. Phys. 17 (1978) 773.
• 3) B.T. Khuri-Yakub, G.S. Kino and P. Galle: J. Appl. Phys. 46 (1975) 3266
• 4) T. Yamamoto, T. Shiosaki and A. Kawabata: J. Appl. Phys. 51 (1980) 3113
• 5) T. Mitsuyu, S. Ono and K. Wasa: J. Appl. Phys. 51 (1980) 2464

タイトルに関連する用語 (5件)： 電子サイクロトロン共鳴 ,  支援 ,  分子ビームエピタクシー ,  ZnO薄膜 ,  成長