液体高分子の光誘起凝固によるインプリント特性

KOMURO M; TANIGUCHI J; INOUE S; KIMURA N; TOKANO Y; HIROSHIMA H; MATSUI S

文献

J-GLOBAL ID：200902129986884356 整理番号：01A0212545

液体高分子の光誘起凝固によるインプリント特性

Imprint Characteristics by Photo-Induced Solidification of Liquid Polymer.

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資料名：
巻： 39 号： 12B ページ： 7075-7079 発行年： 2000年12月30日
JST資料番号： G0520B ISSN： 0021-4922 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：日本 (JPN) 言語：英語 (EN)

従来の熱インプリントにおける熱膨張起因のパターン変位を防止す...

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固体デバイス製造技術一般 , その他の高分子の反応

引用文献 (13件)：

1) S. Y. Chou, P. R. Krauss and P. J. Renstrom: Appl. Phys. Lett. 67 (1995) 3114.
2) S. Y. Chou, P. R. Krauss and P. J. Renstrom: J. Vac. Sci. & Technol. B14 (1996) 4129.
3) S. L. Xiaoyun, W. Z. Zhuang and S. Y. Chou: J. Vac. Sci. & Technol. B16 (1998) 3922.
4) L. Guo, P. R. Kraus and S. Y. Chou: Appl. Phys. Lett. 71 (1997) 1881.
5) P. R. Krauss and S. Y. Chou: J. Vac. Sci. & Technol. B13 (1995) 2850.

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