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J-GLOBAL ID：200902134363222216   整理番号：95A0262282

ピエゾ電気励起と検出を使った走査力顕微鏡

Special Issue on Micromachines and Micro Electro Mechanical Systems. Scanning Force Microscope Using Piezoelectric Excitation and Detection.

著者 (3件)： ITOH T (Univ. Tokyo, Tokyo, JPN) ,  OHASHI T (Univ. Tokyo, Tokyo, JPN) ,  SUGA T (Univ. Tokyo, Tokyo, JPN)
資料名： IEICE Transactions on Electronics (Institute of Electronics, Information and Communication Engineers)  (IEICE Transactions on Electronics (Institute of Electronics, Information and Communication Engineers))
巻： E78-C  号： 2  ページ： 146-151  発行年： 1995年02月 
JST資料番号： L1370A  ISSN： 0916-8524  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 励起と検出のためにピエゾ電気微細片持梁を用いた新しく開発した...

シソーラス用語： 力顕微鏡 ,...

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分類 (1件)： 電子顕微鏡,イオン顕微鏡  (BD02050B)

引用文献 (17件)：

• BINNIG, G. Atomic Force Microscope. Phys. Rev. Lett. Mar., vol.56, no.9, 930-933
• BINNIG, G. Atomic Resolution with Atomic Force Microscope. Europhys. Lett. Jun., vol.3, no.12, 1281-1289
• WOLTER, O. Micromachined silicon sensors for scanning force microscopy. J. Vac. Sci. Technol. Mar., vol.B9, no.2, 1353-1357
• AKAMINE, S. Low temperature thermal oxidation sharpening of microcast of microcast tips. J. Vac. Sci. Technol. Sep., vol.B10, no.5, 2307-2310
• Nanoprobe-Etched Silicon Atomic Force Microscope Probes

タイトルに関連する用語 (3件)： ピエゾ電気 ,  励起 ,  走査力顕微鏡