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J-GLOBAL ID：200902144808599442   整理番号：00A0853000

シラン高周波放電におけるクラスタの核形成とその後の成長のその場観察

In situ observation of nucleation and subsequent growth of clusters in silane radio frequency discharges.

著者 (5件)： KOGA K (Kyushu Univ., Fukuoka, JPN) ,  MATSUOKA Y (Kyushu Univ., Fukuoka, JPN) ,  TANAKA K (Kyushu Univ., Fukuoka, JPN) ,  SHIRATANI M (Kyushu Univ., Fukuoka, JPN) ,  WATANABE Y (Kyushu Univ., Fukuoka, JPN)
資料名： Applied Physics Letters  (Applied Physics Letters)
巻： 77  号： 2  ページ： 196-198  発行年： 2000年07月10日 
JST資料番号： H0613A  ISSN： 0003-6951  CODEN： APPLAB  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 低圧で低パワーシラン高周波放電中のクラスタの成長過程を,新し...

シソーラス用語： *高周波放電 ,...
準シソーラス用語： クラスタ成長

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分類 (1件)： 気体放電  (BJ03020T)

タイトルに関連する用語 (6件)： シラン ,  高周波放電 ,  クラスタ ,  核形成 ,  成長 ,  その場観察