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J-GLOBAL ID:200902154002579765   整理番号:01A0226438

二次元的表面粗さの光学的測定法

Optical Method for Two-Dimensional Surface Roughness Measurement.
著者 (2件):
資料名:
巻: 67  号: 653  ページ: 254-261  発行年: 2001年01月25日 
JST資料番号: F0045B  ISSN: 0387-5024  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
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試験片表面に照射した光ビームからの散乱光強度分布を近似した二...
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分類 (1件):
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長さ,面積,断面,体積,容積,角度の計測法・機器 
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