純窒素高周波プラズマ中での付着性c-BN膜の合成

文献

J-GLOBAL ID：200902157215367078 整理番号：99A0577426

Synthesis of adhesive c-BN films in pure nitrogen radio-frequency plasma.

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資料名：
巻： 8 号： 2/5 ページ： 382-385 発行年： 1999年03月
JST資料番号： W0498A ISSN： 0925-9635 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：オランダ (NLD) 言語：英語 (EN)

立方晶系BN(c-BN)の種々の基板への付着性の改善について...

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固体デバイス材料 , 半導体薄膜

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