偏光レーザ光散乱法を用いた高周波シランプラズマ中の微粒子の特性の同時その場測定

SHIRATANI M; KAWASAKI H; FUKUZAWA T; YOSHIOKA T; UEDA Y; SINGH S; WATANABE Y

文献

J-GLOBAL ID：200902158252021714 整理番号：96A0116578

偏光レーザ光散乱法を用いた高周波シランプラズマ中の微粒子の特性の同時その場測定

Simultaneous in situ measurements of properties of particulates in rf silane plasmas using a polarization-sensitive laser-light-scattering method.

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資料名：
巻： 79 号： 1 ページ： 104-109 発行年： 1996年01月01日
JST資料番号： C0266A ISSN： 0021-8979 CODEN： JAPIAU 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

標記プラズマ中の約10nm以上のサイズの微粒子の成長過程を調...

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プラズマ応用

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