金属クラスターを形成核とするナノ構造のエッチング加工

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J-GLOBAL ID：200902161260455619 整理番号：99A0343555

Etching Fabrication of Nanostructures Using Metal Clusters as Formation Nuclei.

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巻： 42 号： 2 ページ： 91-96 発行年： 1999年02月20日
JST資料番号： G0194A ISSN： 0559-8516 CODEN： SHINA 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：解説発行国：日本 (JPN) 言語：日本語 (JA)

ナノ構造をリソグラフィー技術で加工するには本質的な困難があり...

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固体デバイス製造技術一般

引用文献 (15件)：

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