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J-GLOBAL ID：200902162853032494   整理番号：03A0069814

集束イオンビーム誘起化学蒸着により成長させたFeドープ非晶質炭素ピラーの黒鉛化

Graphitization of Fe-doped amorphous carbon pillars grown by focused-ion-beam-induced chemical-vapor deposition.

著者 (6件)： FUJITA J (NEC Fundamental Res. Lab., Tsukuba, JPN) ,  ISHIDA M (NEC Fundamental Res. Lab., Tsukuba, JPN) ,  ICHIHASHI T (NEC Fundamental Res. Lab., Tsukuba, JPN) ,  OCHIAI Y (NEC Fundamental Res. Lab., Tsukuba, JPN) ,  KAITO T (Seiko Instruments Inc., Shizuoka, JPN) ,  MATSUI S (Himeji Inst. Technol., Hyogo, JPN)
資料名： Journal of Vacuum Science & Technology. B. Microelectronics and Nanometer Structures  (Journal of Vacuum Science & Technology. B. Microelectronics and Nanometer Structures)
巻： 20  号： 6  ページ： 2686-2689  発行年： 2002年11月 
JST資料番号： E0974A  ISSN： 1071-1023  CODEN： JVTBD9  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 集束イオンビーム誘起化学蒸着(FIB-CVD)により成長させ...

シソーラス用語： *集束イオンビーム ,...
準シソーラス用語： FIB-CVD

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分類 (2件)： その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A) ,  不均一系触媒反応  (CB06100E)

タイトルに関連する用語 (9件)： 集束イオンビーム ,  誘起 ,  化学蒸着 ,  成長 ,  Fe ,  ドープ ,  非晶質炭素 ,  ピラー ,  黒鉛化