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J-GLOBAL ID：200902168331703265   整理番号：99A0772497

内部アンテナを用いた誘導結合大直径プラズマの生成

Production of Inductively-Coupled Large-Diameter Plasmas with Internal Antenna.
著者 (4件)：
SETSUHARA Y

SETSUHARA Y について

(Osaka Univ., Osaka, JPN)

Osaka Univ., Osaka, JPN について

, 
MIYAKE S

MIYAKE S について

(Osaka Univ., Osaka, JPN)

Osaka Univ., Osaka, JPN について

, 
SAKAWA Y

SAKAWA Y について

(Nagoya Univ., Nagoya, JPN)

Nagoya Univ., Nagoya, JPN について

, 
SHOJI T

SHOJI T について

(Nagoya Univ., Nagoya, JPN)

Nagoya Univ., Nagoya, JPN について


資料名：
Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers  (Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers)

Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers について


巻： 38  号： 7B  ページ： 4263-4267  発行年： 1999年07月30日 
JST資料番号： G0520B  ISSN： 0021-4922  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)
抄録/ポイント：
抄録/ポイント
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大直径の13.56MHzのRFプラズマを,内部型アンテナの誘...
シソーラス用語：
シソーラス用語/準シソーラス用語
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*誘導結合プラズマ

誘導結合プラズマ について

,...
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分類 (2件)：
分類
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プラズマ生成・加熱 
(BJ02060E)

プラズマ生成・加熱 について

,  プラズマ装置 
(BJ02082I)

プラズマ装置 について

引用文献 (10件)：
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タイトルに関連する用語 (4件)：
タイトルに関連する用語
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内部アンテナ

内部アンテナ について

, 
誘導結合

誘導結合 について

, 
大直径

大直径 について

, 
プラズマ

プラズマ について


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