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J-GLOBAL ID：200902171930172996   整理番号：02A0493627

フェムト秒レーザーのシングルパルス干渉露光による無機材料の微細加工とその応用

Fabrication of Micro-Gratings on Inorganic Materials by Two-Beam Holographic Method Using Infrared Femtosecond Laser Pulses.

著者 (3件)： 河村賢一 (JST-ERATO) ,  平野正浩 (JST-ERATO) ,  細野秀雄 (東京工大 応用セラミックス研)
資料名： レーザー研究  (レーザー学会誌)
巻： 30  号： 5  ページ： 244-250  発行年： 2002年05月15日 
JST資料番号： X0335A  ISSN： 0387-0200  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 文献レビュー  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 標記干渉露光による微小回折格子作製技術の詳細とその応用を解説...

シソーラス用語： *フェムト秒 ,...

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分類 (4件)： 特殊加工  (QC04000Y) ,  光デバイス一般  (BD06010L) ,  干渉測定と干渉計  (BD07070G) ,  ホログラフィーの応用  (BD03074U)

引用文献 (25件)：

• 1) X. Liu, D. Du, and G. Mourou: IEEE J. Quantum Electron. 33 (1997) 1706.
• 2) X. Zhu, A. Yu. Naumov, D. M. Villemuve, and P. B. Corkum: Appl. Phys. A 69 (1999) S367.
• 3) S. Nolte, C. Momma, H. Jacobs, A. Tunnerman, B. N. Chichkov, B. Wellegenhausen, and H. Welling: J. Opt. Soc. Am. B 14 (1997) 2716.
• 4) M. Lenzner, J. Kruger, W. Kautek, and F. Krausz: Appl. Phys. A 68 (1999) 369.
• 5) W. Kautek, J. Kruger, M. Lenzner, S. Sartania, Ch. Speolmann, and F. Krausz: Appl. Phys. Lett. 69 (1996) 3146.

タイトルに関連する用語 (6件)： フェムト秒レーザー ,  パルス ,  干渉露光 ,  無機材料 ,  微細加工 ,  応用