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J-GLOBAL ID：200902174559650986   整理番号：02A0173370

集束イオンビーム化学蒸着により成長させた三次元ナノ構造及びピラーにおける機械振動の観察と評価

Observation and characteristics of mechanical vibration in three-dimensional nanostructures and pillars grown by focused ion beam chemical vapor deposition.

著者 (6件)： FUJITA J (NEC Fundamental Res. Lab., Tsukuba, JPN) ,  ISHIDA M (NEC Fundamental Res. Lab., Tsukuba, JPN) ,  SAKAMOTO T (NEC Fundamental Res. Lab., Tsukuba, JPN) ,  OCHIAI Y (NEC Fundamental Res. Lab., Tsukuba, JPN) ,  KAITO T (Seiko Instruments Inc., Shizuoka, JPN) ,  MATSUI S (Himeji Inst. Technol., Hyogo, JPN)
資料名： Journal of Vacuum Science & Technology. B. Microelectronics and Nanometer Structures  (Journal of Vacuum Science & Technology. B. Microelectronics and Nanometer Structures)
巻： 19  号： 6  ページ： 2834-2837  発行年： 2001年11月 
JST資料番号： E0974A  ISSN： 1071-1023  CODEN： JVTBD9  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ダイヤモンド様炭素(DLC)ピラーのYoung率を走査電子顕...

シソーラス用語： *DLC膜 ,...

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分類 (2件)： その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A) ,  固体の機械的性質一般  (BL01021C)

物質索引 (1件)： フェナントレン

タイトルに関連する用語 (7件)： 集束イオンビーム化学蒸着 ,  成長 ,  ナノ構造 ,  ピラー ,  機械振動 ,  観察 ,  評価