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J-GLOBAL ID：200902185178732120   整理番号：99A0852975

有機金属化学蒸着により作製したRu及びRuO₂薄膜の性質

Properties of Ru and RuO₂ Thin Films Prepared by Metalorganic Chemical Vapor Deposition.

著者 (2件)： CHOI Y C (Chonbuk National Univ., Chonbuk, KOR) ,  LEE B S (Chonbuk National Univ., Chonbuk, KOR)
資料名： Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers  (Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers)
巻： 38  号： 8  ページ： 4876-4880  発行年： 1999年08月15日 
JST資料番号： G0520B  ISSN： 0021-4922  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ルテニウムカルボニル[Ru₃(CO)<...

シソーラス用語： MOCVD ,...

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分類 (2件)： 金属薄膜  (BK14030T) ,  酸化物薄膜  (BK14050P)

引用文献 (9件)：

• (1) J. Lee, Y. T. Kim, S. Min and S. H. Choh: J. Appl. Phys. 77 (1995) 5473.
• (2) L. Krusin-Elbaum, M. Wittmer and D. S. Yee: Appl. Phys. Lett. 50 (1987) 1879.
• (3) S. Saito and K. Kuramasu: Jpn. J. Appl. Phys. 32 (1992) 135.
• (4) S. D. Bernstein, T. Y. Wong, Y. Kisler and R. W. Tustison: J. Mater. Res. 8 (1993) 12.
• (5) J. F. Tressler, K. Watanabe and M. Tanaka: J. Am. Ceram. Soc. 79 (1996) 525.

タイトルに関連する用語 (5件)： 有機金属化学蒸着 ,  作製 ,  Ru ,  薄膜 ,  性質