CF<sub>4</sub>のrfプラズマの二次元モデル化  周期的定常状態,電源電圧の階段的変化後の過渡応答および一次元モデルとの比較

SO S-Y; ODA A; SUGAWARA H; SAKAI Y

文献

J-GLOBAL ID：200902186764233741 整理番号：02A0961963

CF₄のrfプラズマの二次元モデル化周期的定常状態,電源電圧の階段的変化後の過渡応答および一次元モデルとの比較

Two-dimensional modelling of CF₄ rf plasmas: Periodic steady state, transient response after step change of power source voltage, and comparison with one-dimensional modelling.

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巻： 35 号： 22 ページ： 2978-2987 発行年： 2002年11月21日
JST資料番号： B0092B ISSN： 0022-3727 CODEN： JPAPBE 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：イギリス (GBR) 言語：英語 (EN)

円筒対称の二次元流体モデルを用いて,標記のrf(13.6MH...

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気体放電 , プラズマ一般

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CF4のrfプラズマの二次元モデル化 周期的定常状態,電源電圧の階段的変化後の過渡応答および一次元モデルとの比較

CF₄のrfプラズマの二次元モデル化周期的定常状態,電源電圧の階段的変化後の過渡応答および一次元モデルとの比較