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J-GLOBAL ID：200902203861603180   整理番号：06A0588239

ステッピングモータで駆動される3自由度半導体ウエハ搬送ロボットアームの軌道追従制御と誤差解析

Trajectory Tracking Control and Error Analysis of Three-Link Semiconductor Wafer Transfer Robot Arm Driven with Stepping Motors

著者 (5件)： 小島宏行 (群馬大 工) ,  千木良英幸 (群馬大 大学院) ,  桑野好文 (日本サーボ) ,  阿部慶一 (日本サーボ) ,  菊地範芳 (日本サーボ)
資料名： 日本機械学会論文集 C編  (Transactions of the Japan Society of Mechanical Engineers. Series C)
巻： 72  号： 719  ページ： 2008-2014  発行年： 2006年07月25日 
JST資料番号： F0045B  ISSN： 0387-5024  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 本研究は,ステッピングモータをアクチュエータとする3自由度半...

シソーラス用語： *ロボットアーム ,...

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分類 (1件)： ロボットの運動・制御  (IC04012J)

引用文献 (5件)：

• KOJIMA, H. Dynamic Characteristics of Horizontal Two-Link Robot Driven by Step Motors. Transactions of the Society of Instrument and Control Engineers. 1990, 26, 4, 420-426
• KOJIMA, H. Path Control of a Horizontal Two-Link Robot Driven by Step Motors. Transactions of the Japan Society of Mechanical Engineers, Series C. 1990, 56, 525, 1217-1222
• WEBER, H. A Motion Planning and Execution for Mobile Robots Driven by Stepping Motors. Robotics and Autonomous Systems. 2000, 33, 207-221
• MIURA, T. High Torque Microstep Drive of a Two-Phase Stepping Motor. The Transactions of the Institute of Electrical Engineers of Japan, D. 2001, 121, 12, 1297-1298
• SALAH, B. A Digital Control for Improving the Position Resolution of Permanent-Magnet Stepping Motors. Systems Analysis Modeling Simulation. 2003, 43, 2, 189-200

タイトルに関連する用語 (6件)： ステッピングモータ ,  3自由度 ,  半導体ウエハ ,  搬送ロボット ,  軌道追従制御 ,  誤差解析