文献
J-GLOBAL ID:200902212580732584
整理番号:09A0598706 ステージ駆動力と表面形状を用いた大型超精密スキャンステージのオートフォーカス/レベリング制御
Auto Focus and Leveling Control of Large-Scale High-Precision Scan-Stage Using Driving Force and Surface Shape of the Stage
- (1) S. Wakui: “Roles of an Active Anti-Vibration Apparatus in Precision Positioning”, <i>J. JSPE</i>, Vol. 73, No. 4, pp. 405-409 (2007) (in Japanese)
- 涌井伸二:「精密位置決めにおけるアクティブ除振装置の役割」, 精密工学会誌, 73, 4, pp. 405-409 (2007)
- (2) K. Komata, S. Iguchi, H. Kadono, S. Toyooka, and N. Arai: “Study on Laser Direct Imaging System for Next Generation to Use Statistical Interferometry”, <i>SAITEC</i>, Vol. 4 (2006) (in Japanese)
- 小俣公夫・井口 敏・門野博史・豊岡 了・新井尚機:「統計干渉計測法の実用化による次世代型レーザ直描装置に関する研究」, 埼玉県産業技術総合センター研究報告, 4 (2006)
- (3) H. Fujimoto, Y. Hori, and A. Kawamura: “Perfect Tracking Control Method Based on Multirate Feedforward Control”, <i>T. SICE</i>, Vol. 36, No. 9, pp. 766-772 (2000) (in Japanese)
- 藤本博志・堀 洋一・河村篤男:「マルチレートフィードフォワード制御を用いた完全追従制御法」, 計測自動制御学会論文集, 36, 9, pp. 766-772 (2000)
- (4) K. Fukushima, H. Fujimoto, and S. Nakagawa: “Short-Span Seeking Control of Hard Disk Drive with Vibration Suppression PTC”, <i>T. IEE Japan</i>, Vol. 126-D, No. 6, pp. 706-712 (2006-6) (in Japanese)
- 福島啓介・藤本博志・中川真介:「制振PTCによる磁気ディスク装置のショートスパンシーク制御」, 電学論D, 126, 6, pp. 706-712 (2006-6)
- (5) K. Fukushima and H. Fujimoto: “Vibration Suppression Control of Hard Disk Drives with Multirate Feedback Control and High-order Vibration Suppression PTC”, in <i>Proc. SICE Conf.</i>, 065-3-2 (2007) (in Japanese)
- 福島啓介・藤本博志:「マルチレートフィードバックと高次制振PTCを用いた磁気ディスク装置のシーク制御」, 計測自動制御学会第7回制御部門大会, 065-3-2 (2007)
- (6) K. Sakata, H. Fujimoto, T. Shimoyama, and K. Saiki: “Fast and Precise Positioning Control of Large Scaled High Precision Step-Stage using Vibration Suppression PTC”, in <i>Proc. SICE Conf.</i>, 065-3-1 (2007) (in Japanese)
- 坂田晃一・藤本博志・下山隆司・佐伯和明:「制振PTCを用いた大型超精密ステップステージの高速・高精度位置決め制御」, 計測自動制御学会第7回制御部門大会, 065-3-1 (2007)
- (7) H. Fujimoto and Y. Hori: “Vibration Suppression and Optimal Repetitive Disturbance Rejection Control in Semi-Nyquist Frequency Region using Multirate Sampling Control”, in <i>Proc. 39th IEEE Conf. on Decision and Contr.</i>, pp. 3745-3750 (2000)
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