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J-GLOBAL ID：200902212597336208   整理番号：06A0284256

オゾン濃度その場測定によるUV光励起オゾン低温酸化プロセス中のO(¹D)の時間分布の解析

Analysis of O(¹D) Distribution by Time-Resolved Measurement of Ozone Density for Application of UV-light Excited Ozone to Oxidation Process

著者 (5件)： 戸坂亜希 (産業技術総合研) ,  西口哲也 (産業技術総合研) ,  西口哲也 (明電舎) ,  野中秀彦 (産業技術総合研) ,  一村信吾 (産業技術総合研)
資料名： 真空  (Journal of the Vacuum Society of Japan)
巻： 49  号： 3  ページ： 123-125  発行年： 2006年03月20日 
JST資料番号： G0194A  ISSN： 0559-8516  CODEN： SHINA  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： O₃による大面積シリコンの短時間及び均...

シソーラス用語： *オゾン ,...

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分類 (2件)： 酸化物薄膜  (BK14050P) ,  光化学反応  (CB08020F)

引用文献 (10件)：

• 1) T. Nishiguchi, H. Nonaka, S. Ichimura, Y. Morikawa, M. Kekura and M. Miyamoto: Appl. Phys. Lett., 81 (2002) 2190.
• 2) 戸坂亜希,西口哲也,野中秀彦,一村信吾:真空,48 (2005) 309.
• 3) A. Tosaka, T. Nishiguchi, H. Nonaka and S. Ichimura: Jap. J. Appl. Phys., 44 (2005) L1144.
• 4) S. Ichimura, H. Nonaka, Y. Morikawa M. Kekura and M. Miyamoto: J. Vac. Sci. Technol., A 22 (2004) 1410.
• 5) R. W. Keyes: IBM J. 7 (1963) 334.

タイトルに関連する用語 (10件)： オゾン濃度 ,  その場測定 ,  UV光 ,  励起 ,  オゾン ,  低温酸化 ,  プロセス ,  1D ,  時間分布 ,  解析