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文献
J-GLOBAL ID：200902213478746968
整理番号：08A0671450 NiCr薄膜歪みゲージによるポリマー/Siカンチレバー型多軸触覚センサの高分解能化
Fabrication of High Resolution Multi-axis Tactile Sensor by Using Polymer/Si Cantilever with NiCr Thin Film Strain Gauge
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引用文献 (7件)
- 吉田俊介, 溝田晃一, 樋口克己, 金島岳, 野間春生:「圧力と勢断力とが同時に計測可能な触覚センサの開発--講造模型による計測原理の予備検討--」, 日本バーチャルリアリティ学会第12回大会, 1B3-5(2007)
- M. Sohgawa, Y. M. Huang, T. Kanashima, K. Yamashita, M. Noda, M. Okuyama, and H. Noma: “Fabrication and Characterization of Silicon-Polymer Beam Structures for Cantilever-Type Tactile Sensors”, Transducers ’07, pp. 1461(2007)
- 寒川雅之, 野田実, 黄裕銘, 金島岳, 山下馨, 奥山雅則, 池田正哲, 野間春生:「適度な傾斜形状を有するCr/Siマイクロカンチレバー構造を用いた多軸触覚センサの作製と評価」, 電気学会センサ・マイクロマシン部門総合研究会, pp. 47(2007).
- 黄裕銘, 寒川雅之, 山下馨, 金島岳, 奥山雅則, 野田実, 野間春生:「エラストマーとポリマー/Si傾斜カンチレバーを用いた触覚センサによる圧力と勢断力の計測」, 第24回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジ ウム, PP. 406(2007)
- R. B. Belser, and W. H. Hicklin: “Temperature Coefficients of Resistance of Metallic Films in the Temperature Range 25° to 600°C”, J. Appl. Phys, Vol.30, pp. 313(1959)
- 高橋清, 伊東謙太郎:「基礎センサ工学」, 電気学会, pp. 117(1993)
- 岩坪聡, 清水孝晃, 津幡健, 桑原大輔, 谷野克巳:「RFマグネトロンスパッタ法とイオンビームスパッタ法にて作製されたNiCr薄膜の抵抗温度係数特性に及ぼす熱ひずみ効果」, 電子情報通信学会論文誌C, Vol. J90-C, pp. 409(2007)
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