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J-GLOBAL ID：200902217369900782   整理番号：08A0118145

プラズマ支援重合法による高分子光導波路の形成

Fabrication of an Optical Polymer Waveguide by Plasma Enhanced Polymerization

著者 (4件)： 森木一紀 (武蔵工大 工) ,  佐藤徹治 (武蔵工大 工) ,  板橋敦 (武蔵工大 工) ,  湯本雅恵 (武蔵工大 工)
資料名： 電気学会論文誌 A  (IEEJ Transactions on Fundamentals and Materials)
巻： 128  号： 2  ページ： 75-80  発行年： 2008年02月01日 
JST資料番号： S0808A  ISSN： 0385-4205  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 光導波路に,Si基板上に火炎加水分解により堆積したシリカ系薄...

シソーラス用語： プラズマ重合 ,...
準シソーラス用語： プラズマ重合法 ,...

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分類 (1件)： 光導波路,光ファイバ,繊維光学  (BD06030H)

引用文献 (10件)：

• CHHOWALLA, M. Influence of ion energy and substrate temperature on the optical and electronic properties of tetrahedral amorphous carbon (ta-C) films. J. Appl. Phys. 1997, 81, 139-145
• FINK, J. IInvestigation of hydrocarbon-plasma-generated carbon filmes by electron-energy-loss spectroscopy. Phys. Rev. B. 1984, 30, 4713-4718
• KRISHANA, K. M. Low density of defect state in hydrogenated amorphous carbon thin films geown by plasma-enhanced chemical vapor deposition. Appl. Phys. Lett. 2001, 78, 294-296
• JANSEN, K. F. ICharacterization of amorphous carbon-hydrogen films by solid-state nuclear magnetic resonance. Appl. Phys. Lett. 1985, 47, 750-753
• BOUNOUH, Y. Influence of annealing on the hydrogen bonding and the microstructure of diamondlike and polymerlike hydrogenated amorphous carbon films. Phys. Rev. B. 1995, 51, 9597-9605

タイトルに関連する用語 (5件)： プラズマ ,  支援 ,  重合法 ,  高分子 ,  光導波路